[发明专利]防尘薄膜组件收纳容器

说明书

技术领域

本发明涉及导体装置，IC封装，印刷基板，液晶面板或者有机EL面板等的制造时用的防尘薄膜组件的收纳容器，进一步涉及用于收纳至少一个边的边长超过500mm的大型的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器。

背景技术

在LSI，超LSI等的半导体制造或液晶面板等的制造中，要对半导体晶片或者液晶用原板进行光照射，以进行图案的制作，但是，此时，使用的光掩模或者中间掩模(以下，统称“光掩模”)上如有灰尘附着，该灰尘会对光进行吸收，或使光弯曲，由此转印的图案就会变形，尖端部就会模糊，甚至会发生基底脏黑等，从而尺寸，品质，外观等受损。

因此，这样的作业通常在无尘室中进行，但是即使如此也难以总是保持光掩模的清洁，由此，要在光掩模表面将作为防尘器的防尘薄膜组件进行贴附后，再进行曝光。在该场合，异物不在光掩模的表面直接附着，而是附着在防尘薄膜组件上，由此光刻时只要将焦点对准光掩模的图案，防尘薄膜组件上的异物就与转印没有关系了。

防尘薄膜组件，一般，将由透光良好构成的硝酸纤维素，醋酸纤维素或者氟树脂等构成的透明的防尘膜，在由铝，钢铁，不锈钢，工程塑料等构成的防尘薄膜组件框架的上端面上贴附或进行接着形成。然后，在尘薄膜组件框架的下端，设置为了在光掩模上进行安装的，由聚丁烯树脂，聚醋酸乙烯基树脂，丙烯酸树脂，有机硅树脂等构成的粘着层以及以对该粘着层的保护为目的离型层(分离片)。

另一方面，将这样的防尘薄膜组件，特别是边长为超过500mm的大型的防尘薄膜组件进行收纳的防尘薄膜组件收纳容器，由载置所述防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该本体的周缘部嵌合密闭的盖体而构成。这些部件，由厚度2～8mm程度的树脂板真空成形或者冲压成形而制作，使用该制法的场合，大型的也可以一体成形，所以具有内部发尘源少，生产效率高以及成本低的优点。

防尘薄膜组件收纳容器本体，为了易于发现附着的异物，以黑色为好，再者盖体，为了易于观察内部收纳的防尘薄膜组件，以透明或者有色半透明为好(专利文献1参照)。从这样的观点，在几乎所有的场合，收纳容器本体为黑色的ABS树脂，盖体为透明或半透明的ABS树脂或者PMMA树脂。

但是，这样的树脂具有可燃性，特别是收纳边长超过500mm大型防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器的场合，可燃物的体积以及重量相当大。例如，800x920mm掩模用的防尘薄膜组件收纳容器，其重量为10kg/个，1220x1400mm掩模用的防尘薄膜组件收纳容器，其重量为25kg/个，所以将这些防尘薄膜组件收纳容器放在一处进行大量保管的场合，具有安全性问题。

因此，作为这一问题的对策，可以用具有难燃性的材料，例如使用金属以及难燃性树脂。但是，金属的场合，即使盖体使用铝合金等的轻量材料，在用人工进行开闭时，也是很重的，有操作上负担大的问题。

另一方面，难燃性的树脂材料的场合，其材料可以例举PAN，PVC等，但是，这些材料，在购买时尺寸制约多，再者，不易加热成形之物多，有难以使用的问题。

从这样的观点，为了确保难燃性，在大型的防尘薄膜组件收纳容器的材料常用在PMMA，ABS材料中添加难燃剂一种好的方法。作为添加的难燃剂，可以例举溴系化合物，磷系化合物，锑化合物，金属氢氧化物等，此外也可例举有机硅系化合物等，其中，在PMMA，ABS的树脂中加入溴系化合物优良。

但是，在使用添加了难燃剂防尘薄膜组件收纳容器的材料树脂的场合，如果在太阳光，特别紫外线存在的环境中将防尘薄膜组件收纳容器进行保管的话，紫外线会使难燃剂分解，老化，使在收纳容器内部收纳的防尘薄膜组件被污染(浑浊)，原材料树脂的老化也会加快，防尘薄膜组件收纳容器的外观会变差。

专利文献

【专利文献1】日本特开2001－100394

本发明就是鉴于上述的问题而成的，本发明的目的，是提供一种作为防尘薄膜组件收纳容器的材料使用了添加难燃剂的树脂的场合，紫外线不会使难燃剂以及树脂老化，由此可以使收纳的防尘薄膜组件可以长期保持清洁的防尘薄膜组件收纳容器。

发明内容

本发明是一种将至少一个边长为超过500mm的防尘薄膜组件进行收纳的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于：该收纳容器由载置防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该本体的周缘部嵌合而密闭的盖体构成，至少盖体为由真空成形或者冲压成形的树脂制成，该树脂材料，含有难燃剂以及黑色化材料，不透明且为黑色。