[发明专利]铂薄膜热敏电阻器的制造方法

权利要求书

1.一种铂薄膜热敏电阻器的制造方法，其特征是包括陶瓷基片抛光、铂金膜层溅射、膜层热处理、等离子体刻蚀、激光数码调阻、电阻体包封、烧结、手工裂片、引线焊接、焊点包封和包封层固化；具体方法如下：

1)对99瓷基片上下表面进行抛光处理，表面粗糙度控制在0.10μm～0.15μm；

2)用浓度为5％的NaOH溶液对抛光的陶瓷基片进行浸煮，用去离子水超声清洗基片，去除基片上残留的NaOH溶液，将基片置于烘箱中进行干燥；

3)将干燥的基片放入离子溅射机腔体内，以铂金作为靶材，在基片表面沉积1.0μm～1.2μm的铂金膜层；

4)用恒温加热炉对铂金膜层进行热处理，热处理温度为400℃～600℃，热处理时间为150min；

5)用等离子体对热处理后的铂金膜层进行刻蚀，获得目标电阻体线宽为4μm～5μm的图形；

6)用0.02W～0.5W、Q开关频率为2～20KHz、调阻速率为20mm/s～150mm/s的半导体激光对电阻体进行数码调阻，将电阻体阻值调到目标阻值和精度；

7)用去离子水清洗激光调阻后的基片，去除残留在基片表面的粉尘，将基片置于烘箱中进行干燥；

8)在电阻体表面印刷高温玻璃浆料，并置于烘箱中进行固化；

9)用手工裂片方式对固化后的陶瓷基片进行一次、二次裂片；

10)用不锈钢钳子截取0.15mm×0.25mm的铂金丝，长度为8mm～10mm；

11)用5000W的电子压焊机将截面尺寸为0.15mm×0.25mm、长度为8mm～10mm的铂金丝一端焊接在电极上；

12)配制高温玻璃浆料，均匀涂覆在铂金丝焊点表面，待玻璃浆料干燥后置于烘箱中进行固化。

2.如权利要求1所述的铂薄膜热敏电阻器的制造方法，其特征是所述步骤2中：用浓度为5％的NaOH溶液对抛光的陶瓷基片进行浸煮15min，用去离子水反复3次超声清洗基片，每次清洗5min,去除基片上残留的NaOH溶液，用压缩空气吹干基片表面水滴，将基片置于150℃烘箱中干燥60min。

3.如权利要求1所述的铂薄膜热敏电阻器的制造方法，其特征是所述步骤7中：用去离子水清洗激光数码调阻后的基片3min，如此反复两次，去除残留在基片表面的粉尘。

4.如权利要求3所述的铂薄膜热敏电阻器的制造方法，其特征是所述步骤7中：去除残留在基片表面的粉尘后,用压缩空气吹干基片表面水滴，将基片置于150℃烘箱中干燥60min；所述步骤8中,在电阻体表面印刷高温玻璃浆料，150℃干燥30min；将玻璃浆料干燥后的陶瓷基片静置在恒温炉中，550℃～600℃保温70min对玻璃层进行固化。

5.如权利要求1所述的铂薄膜热敏电阻器的制造方法，其特征是所述步骤10中：用不锈钢钳子截取0.15mm×0.25mm的铂金丝，长度为8mm～10mm，用工业酒精超声清洗5min～8min，用去离子水超声清洗铂金丝上残留的酒精3min～5min，清洗后的铂金丝静置在150℃恒温箱中烘烤30min～35min，烘干水分。

6.如权利要求1所述的铂薄膜热敏电阻器的制造方法，其特征是所述步骤11中，所述电极经过如下处理：用无尘布包裹医用棉签两端，用工业酒精浸湿无尘布，轻轻来回擦拭铂金电极，如此反复四次，将擦拭电极后的半成品放在洁净的干燥环境，静置3min～5min，待酒精挥发完毕。

7.如权利要求1所述的铂薄膜热敏电阻器的制造方法，其特征是所述步骤11中，所述5000W的压焊机电流调整为23A～25A。

8.如权利要求1所述的铂薄膜热敏电阻器的制造方法，其特征是所述步骤12中，配制高温玻璃浆料，均匀涂覆在铂金丝与铂金丝焊点表面，厚度为500μm～600μm，置于常温下干燥2h。

9.如权利要求1所述的铂薄膜热敏电阻器的制造方法，其特征是所述步骤12中，将高温玻璃浆料干燥后的半成品放入恒温炉中，600℃～650℃保温70min进行焊点包封层固化，固化后的玻璃层厚度为300μm～400μm。