[发明专利]一种超洁净气体输送与转移泵有效
申请号: | 201610092612.7 | 申请日: | 2016-02-19 |
公开(公告)号: | CN105736384B | 公开(公告)日: | 2018-03-09 |
发明(设计)人: | 罗杰 | 申请(专利权)人: | 绵阳诚创科技有限公司 |
主分类号: | F04D7/00 | 分类号: | F04D7/00;F04D29/00;F04D29/02 |
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地址: | 621000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 洁净 气体 输送 转移 | ||
1.一种超洁净气体输送与转移泵,包括基座(1)、电机(2)、泵体(3)、水银回流收集器(4)和水银蒸汽去除器(5),其特征在于:所述基座(1)上安装有电机(2)和泵体(3),电机(2)和泵体(3)相连接,所述泵体(3)的排气口(36)处依次连接有水银回流收集器(4)和水银蒸汽去除器(5);所述排气口(36)与水银回流收集器进气口(41)连接,水银回流收集器(4)的气体出口(45)与水银蒸汽去除器进气口(52)连接;
所述泵体(3)包括齿轮箱(31)、泵壳体(32)、叶轮(33)、主轴(34)、进气口(35)、排气口(36)和水银填充部(37),所述泵壳体(32)上设置有进气口(35)和排气口(36),泵壳体(32)内设置有主轴(34),主轴(34)上安装有叶轮(33),主轴(34)连接到齿轮箱(31)内,所述泵壳体(32)的泵腔内填充有水银填充部(37),泵体(3)的排气口(36)与水银回流收集器(4)的水银回流收集器进气口(41)连接;
所述齿轮箱(31)包括齿轮箱体(311)、法兰(312)、第一齿轮(313)、第一齿轮轴(314)、第二齿轮(315)、第二齿轮轴(316)、第三齿轮(317)和第四齿轮(318);所述齿轮箱体(311)内通过法兰(312)安装有第一齿轮轴(314)和第二齿轮轴(316),所述第一齿轮轴(314)与主轴(34)同心同轴,第二齿轮轴(316)浸没于水银填充部(37)的液面以下,第一齿轮轴(314)上安装有第一齿轮(314)和第四齿轮(318),第二齿轮轴(316)上安装有第二齿轮(315)和第三齿轮(317),第一齿轮(314)与第二齿轮(315)啮合,第三齿轮(317)与第四齿轮(318)啮合。
2.根据权利要求1所述的超洁净气体输送与转移泵,其特征在于,所述水银回流收集器(4)包括水银回流收集器进气口(41)、外壳体(42)、填料(43)、内挡板(44)和气体出口(45),所述外壳体(42)顶部设置水银回流收集器进气口(41),外壳体(42)底部设置气体出口(45),所述外壳体(42)内部下方设置内挡板(44),内挡板(44)与外壳体(42)形成的腔体内设置有填料(43)。
3.根据权利要求1所述的超洁净气体输送与转移泵,其特征在于,所述水银蒸汽去除器(5)包括水银蒸汽去除器排气口(51)、水银蒸汽去除器进气口(52)、水银蒸汽去除器外壳体(53)、水银蒸汽去除器填料(54)和下挡板(55);所述水银蒸汽去除器外壳体(53)内设置有水银蒸汽去除器进气口(52),水银蒸汽去除器外壳体(53)的顶部设置有水银蒸汽去除器排气口(51),水银蒸汽去除器外壳体(53)内部下方安装有下挡板(55),下挡板(55)与水银蒸汽去除器外壳体(53)构成的腔体内设置有水银蒸汽去除器填料(54);所述水银蒸汽去除器(5)放置于杜瓦瓶(56)中。
4.根据权利要求1所述的超洁净气体输送与转移泵,其特征在于,所述泵体(3)的工作温度为77K。
5.根据权利要求1所述的超洁净气体输送与转移泵,其特征在于,所述泵体(3)与电机(2)直接连接。
6.根据权利要求1所述的超洁净气体输送与转移泵,其特征在于,所述泵体(3)与电机(2)通过皮带或齿轮连接。
7.根据权利要求2所述的超洁净气体输送与转移泵,其特征在于,所述外壳体(42)和内挡板(44)采用不锈钢材料制成,填料(43)为不锈钢切削料或金属网。
8.根据权利要求3所述的超洁净气体输送与转移泵,其特征在于,所述水银蒸汽去除器外壳体(53)和下挡板(55)采用不锈钢材料制成,水银蒸汽去除器填料(54)为不锈钢切削料或金属网。
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