[发明专利]有色玻璃滤光片强度与相位透过分布检测装置和方法

权利要求书

1.一种有色玻璃滤光片强度与相位透过分布检测装置，其特征在于：包括半导体光纤输出激光器(1)、沿该半导体光纤输出激光器(1)的输出光束方向同光轴依次放置的第一透镜(2)、孔径光阑(3)、第二透镜(4)、第三透镜(5)、供待测有色滤光片(7)放置的样品支架(6)、第四透镜(8)、第五透镜(9)和分束镜(10)，在该分束镜(10)的反射光路方向放置有CCD传感器(12)，该分束镜(10)的透射光路方向放置有Hartmann波前传感器(11)，以及分别与所述的Hartmann波前传感器(11)和CCD传感器(12)相连的计算机(13)；所述的半导体光纤输出激光器(1)的输出端口位于所述第一透镜(2)的焦点处，输出光束经过第一透镜(2)准直，得到大口径近理想平面波的激光光束；

所述的第二透镜(4)和第三透镜(5)组成开普勒结构缩束成像系统，将孔径光阑(3)输出光束进一步缩小到填满待测元件的口径；

所述的第四透镜(8)和第五透镜(9)为缩束成像透镜组，将待测有色滤光片的像缩束后成在传感器上；

所述的分束镜(10)对通过待测有色滤光片的光束进行分束采集，且分别用Hartmann波前传感器(11)和CCD传感器(12)进行强度和相位分布的检测，最后将数据传输至计算机(13)进行处理和输出结果。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于：所述的孔径光阑(3)用于截取经第一透镜(2)准直的大口径近理想平面波的激光光束的中心区域部分光束以获取更好的且强度均匀的平面波作为后续测量光源。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于：所述的样品支架(6)是可调的同轴透镜基座。

4.根据权利要求1-3任一所述的有色玻璃滤光片强度与相位透过分布检测装置进行光强度和相位透过分布的检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

①将待测有色玻璃滤光片(7)放置在样品支架(6)上；

②开启半导体光纤输出激光器(1)，微调光路，使计算机上显示出完整的待测有色滤光片的强度与相位透过分布；

③将上述得到的结果与无样品时的强度和相位透过分布相对比，即得到待测有色滤光片的强度和相位透过分布情况。