[发明专利]一种防振基座

说明书

本发明公开了一种防振基座，包括基座本体、以及设于基座本体内部的阻尼器；所述基座本体内部X、Y、Z三个方向上均设有可调式阻尼器；所述可调式阻尼器的自然频率可调。本发明通过在基座本体内部各个方向上设置可调式阻尼器，并且使阻尼器的自然频率和振动源的频率相同或相接近，从而起到极好的减震效果，从而保证了精密生产设备正常运作，避免了因为震动而带来的问题。

技术领域

本发明涉及一种防振基座。

背景技术

目前，半导体技术得到了空前发展，例如，半导体制造已经逐步迈入12英寸(300mm)晶圆时代。相应的，高科技产业晶圆厂、半导体厂及光电厂也在大规模建立或迅速发展。这些高科技厂房中都会存在精密生产设备。对于上述这些精密生产设备，尤其是大型设备，为了防止振动影响，一般会配置有防振基座。

然而，实际应用中发现：(1) 当生产线因需求发生变动时，一些原本是没有太大振源的区域会变成振源区域，从而对放置于该区域的精密生产设备产生影响；(2) 当产品搬运路线发生改变时，精密生产设备也会受到搬运车振动的影响。上述变化因素会对精密生产设备的正常运作产生影响最终影响产品质量。

因此，开发一种具有良好的防振性能的防振基座，以避免振动对精密生产设备的影响，显然具有积极的现实意义。

发明内容

本发明的目的是提供一种防振基座。

为达到上述发明目的，本发明采用的技术方案是：一种防振基座，包括基座本体、以及设于基座本体内部的阻尼器；所述基座本体内部X、Y、Z三个方向上均设有可调式阻尼器；

所述可调式阻尼器的自然频率可调。

上文中，所述基座本体内部X、Y、Z三个方向上均设有可调式阻尼器，各个方向上的可调式阻尼器起到不同方向上的防振作用。当这个阻尼器组合使用时，可以得到全方位的防振效果。

所述阻尼器的自然频率，英文是natural frequency，直译过来就是自然频率，又称阻尼振动频率。

各个方向上的阻尼器的数量可以是多个。所述可调式阻尼器可以采用现有技术。

上述技术方案中，所述可调式阻尼器包括壳体和设于壳体内的防振薄片，所述防振薄片伸入壳体内的深度可调。通过调节防振薄片伸入壳体内的深度，即可实现阻尼器的自然频率的调节。

优选的，所述可调式阻尼器为粘滞阻尼器。即阻尼器内含有高粘滞液。

与之相应的另一种技术方案，一种防振基座，包括基座本体、以及设于基座本体内部的阻尼器；所述基座本体内部X、Y、Z三个方向中有2个方向上设有可调式阻尼器；

所述可调式阻尼器的自然频率可调；

所述可调式阻尼器包括壳体和设于壳体内的防振薄片，所述防振薄片转动连接于所述壳体内，且防振薄片伸入壳体内的深度可调。

上文中，所述防振薄片转动连接于所述壳体内，且防振薄片伸入壳体内的深度可调。所述防振薄片转动连接于所述壳体内，从而可以在2个方向上实现防振效果，例如：在Z方向插入的阻尼器，当其内的防振薄片水平设置时，可以起到Y方向的防振效果，当其内的防振薄片竖直设置时，可以起到X方向的防振效果。

此外，通过调节防振薄片伸入壳体内的深度，即可实现阻尼器的自然频率的调节。

优选的，所述可调式阻尼器为粘滞阻尼器。

优选的，所述可调式阻尼器呈圆柱形。

各个方向上的阻尼器的数量可以是多个。