[发明专利]一种超纯无硼氨水的制备方法

权利要求书

1.一种超纯无硼氨水的制备方法，其特征在于，包括依次且连续进行的如下步骤：

（1）汽化：利用压缩机将液态氨从原料罐压送至蒸发器内利用热蒸汽蒸发成为氨气；

（2）净化过滤：将步骤（1）中汽化后的氨气依次通过排水分离器和活性碳吸附器得到净化后的氨气；

（3）树脂吸附：将步骤（2）中净化过滤后的氨气经过吸附树脂吸附处理；

（4）多级吸收：将步骤（3）中树脂吸附后的氨气通过吸收塔，并用超纯水进行多级吸收，形成超纯氨水；

（5）除硼工艺：将步骤（4）得到的超纯氨水通过多级硼特效树脂除硼，得到无硼氨水；

（6）超滤：将步骤（5）中得到的无硼氨水进行超滤处理，得到所述超纯无硼氨水。

2.根据权利要求1所述的超纯无硼氨水的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括将多级吸收后的氨水先经过冷却设备进行降温、降压处理，然后进行步骤（5）的除硼工艺；经所述冷却设备处理后的氨水温度小于20℃，压力小于0.1MPa。

3.根据权利要求1所述的超纯无硼氨水的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，所述蒸发器为间壁换热式降压蒸发器，其内衬材质为PFA材质。

4.根据权利要求1所述的超纯无硼氨水的制备方法，其特征在于，所述步骤（3）中，所述吸附树脂为聚苯乙烯吸附树脂，其孔径为0.005～0.01μm。

5.根据权利要求1所述的超纯无硼氨水的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）中，所述无硼超纯水的电阻率大于18MΩ·cm。

6.根据权利要求1所述的超纯无硼氨水的制备方法，其特征在于，所述步骤（5）中，所述硼特效树脂为2,3-二羟基-6-磺酸钠接枝强碱性阴离子交换树脂。

7.根据权利要求5所述的超纯无硼氨水的制备方法，其特征在于，所述硼特效树脂的设置级数为2～5级。

8.根据权利要求1所述的超纯无硼氨水的制备方法，其特征在于，所述水气分离器和吸收塔的内衬均为PFA材质，其中，所述吸收塔为单塔多级吸收塔。

9.根据权利要求1所述的超纯无硼氨水的制备方法，其特征在于，所述超纯无硼氨水中，大于等于0.5μm颗粒浓度小于3p/ml，大于等于0.2μm颗粒浓度小于30p/ml，硼元素含量100PPT，单项金属离子含量小于30ppt。