[发明专利]一种金刚石涂层刀具退涂的方法在审

专利信息
申请号: 201610099701.4 申请日: 2016-02-24
公开(公告)号: CN105695949A 公开(公告)日: 2016-06-22
发明(设计)人: 华庆 申请(专利权)人: 苏州乐晶新材料科技有限公司
主分类号: C23C16/02 分类号: C23C16/02;C23C16/27;C23G5/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 金刚石 涂层 刀具 方法
【权利要求书】:

1.一种金刚石涂层刀具退涂的方法,其特征在于包括以下步骤:

(1)将磨损后的金刚石涂层刀具用丙酮、酒精清洗干净;

(2)将磨损后的金刚石涂层刀具固定于等离子增强化学气相沉积设备 的样品台中央,待等离子增强化学气相沉积设备抽真空至1-5×10-3Pa 以下,该设备采用3GHz微波产生的等离子束,加热至350-420℃之间, 通入氧气、Cl2、ClO2和HCl等气体,处理时间为10-15min,使得刀具表 面磨损的金刚石涂层在Cl2、ClO2和HCl等气体的作用下与刀具表面剥离, 同时在等离子束和氧气的作用下燃烧成微米级的细小颗粒;处理完成后 通入保护性气体冷却后取出刀具;

(3)取出刀具后用丙酮清洗去除刀具表面的微颗粒,露出刀具基体, 完成退涂。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石涂层刀具退涂的方法,其特征在于第

(2)步骤中混合气体的输入速度不低于0.6升/分钟,并且通入气体后 保持的压力不低于100Pa。

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