[发明专利]卷对卷的柔性电润湿或微流器件加工设备

权利要求书

1.一种卷对卷的柔性电润湿或微流器件加工设备，其特征在于，设有柔性衬底传输机构，所述传输机构包括安装柔性电润湿或微流器件下面板柔性衬底卷轴的第一放料辊（1）、安装柔性电润湿或微流器件上面板柔性衬底卷轴的第二放料辊（26）以及按预设走料路线设置的若干传送辊；

所述下面板柔性衬底的走料路线上设有灌油封装装置，所述灌油封装装置设有水槽（21），所述水槽（21）内设有将浮在水表面油液约束在指定区域的约束容器（23），所述约束容器（23）上、下开口，加工形成围堰图形的柔性衬底从所述约束容器（23）的上方穿过油层，进入油层下方的水中，使油液附着在围堰图形中暴露的疏水介质表面后，被水层封在围堰中，穿过油层的柔性衬底通过若干传送辊将设有围堰图形的一面翻转向上，一注胶机设置在翻转后的柔性衬底上方，对柔性衬底进行水下涂覆封装胶，所述第二放料辊设置在水槽（21）上方，上面板柔性衬底通过封装辊与涂胶后的下面板柔性衬底粘合，将所述水层封装起来，粘合后的上、下面板柔性衬底通过胶体固化装置固化封装胶，出水后通过风干装置吹干，由收料辊（32）卷收或传送至后续加工设备。

2.根据权利要求1所述的卷对卷的柔性电润湿或微流器件加工设备，其特征在于，所述下面板柔性衬底垂直穿过所述约束容器（23）中的油层。

3.根据权利要求1所述的卷对卷的柔性电润湿或微流器件加工设备，其特征在于，所述封装胶为UV固化封装胶，所述胶体固化装置为紫外光照射固化装置。

4.根据权利要求1所述的卷对卷的柔性电润湿或微流器件加工设备，其特征在于，所述灌油封装装置设有对准上、下面板的调节装置和调节上、下面板粘合压力的压力控制装置。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的卷对卷的柔性电润湿或微流器件加工设备，其特征在于，所述下面板柔性衬底的走料路线上，灌油封装装置的前序加工装置包括：

疏水介质涂覆装置（3），在所述下面板柔性衬底表面加工疏水介质层；

第一干燥装置，干燥所述疏水介质层；

牺牲层沉积装置（8），在下面板柔性衬底上所述疏水介质层的表面加工一层牺牲层；

光刻胶涂覆装置（10），在下面板柔性衬底上所述牺牲层的表面加工一层光刻胶层；

第二干燥装置，对所述光刻胶层进行干燥处理；

压印装置，在所述光刻胶层上压印出预设的图形，并对图形进行固化处理；

光刻胶刻蚀装置（16），刻蚀光刻胶，暴露压印图形中薄层位置的牺牲层；

牺牲层刻蚀装置（18），去除暴露位置的牺牲层，进一步暴露出疏水介质层，形成围堰图形；

清洗风干装置，清洁并干燥刻蚀后的下面板柔性衬底。

6.根据权利要求5所述的卷对卷的柔性电润湿或微流器件加工设备，其特征在于，所述第一干燥装置、第二干燥装置通过加热与下面板柔性衬底接触的传送辊、通过加热板烘烤或通过吹送加热空气或氮气到疏水介质或光刻胶上使之干燥。

7.根据权利要求5所述的卷对卷的柔性电润湿或微流器件加工设备，其特征在于，所述光刻胶刻蚀装置（16）设有等离子发生单元和载气输出单元，通过载气将刻蚀光刻胶的等离子体吹送到柔性衬底表面与光刻胶接触。

8.根据权利要求5所述的卷对卷的柔性电润湿或微流器件加工设备，其特征在于，所述牺牲层沉积装置（8）通过热蒸发的方式把牺牲层材料加热蒸发，利用载气将蒸发状态的牺牲层材料送至柔性衬底表面，沉积在疏水介质层上。

9.根据权利要求5所述的卷对卷的柔性电润湿或微流器件加工设备，其特征在于，所述压印装置采用热压印或紫外压印，并设有压力控制系统。