[发明专利]一种提高类金刚石薄膜抗激光损伤能力的方法及其装置

权利要求书

1.一种提高类金刚石薄膜抗激光损伤能力的方法，是在DLC及介质薄膜的表面形成具有闭环的磁通路，使得薄膜表面的磁场的梯度最大；所述薄膜是DLC薄膜时，其磁场强度为0.8-1T；所述薄膜是介质薄膜时，其磁场强度为1.1-1.2T。

2.如权利要求1所述的一种提高类金刚石薄膜抗激光损伤能力的方法，其特征在于：所述磁场为反斥磁场，磁场力向外。

3.如权利要求1所述一种提高类金刚石薄膜抗激光损伤能力的方法所使用的装置，其特征在于：包括导磁外框（2），在外框内设置有一对永磁铁，第一永磁铁（3）和第二永磁铁（4），第一永磁铁（3）和第二永磁铁（4）的距离可调。

4.如权利要求3所述一种提高类金刚石薄膜抗激光损伤能力的方法所使用的装置，其特征在于：所述第一永磁铁（3）与螺杆（5）连接，该螺杆（5）设置于导磁外框（2）上，且其轴线与第一永磁铁（3）和第二永磁铁（4）的中心连线重合。