[发明专利]一种用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备

权利要求书

1.一种用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备，其特征在于，所述设备包括：

中路气体管道，所述中路气体管道的一端设置于所述反应器内，用于将待裂解的气体通入所述反应器中；所述中路气体管道包括中路气体主管、金属短管和石墨气体分配器，所述中路气体主管和所述金属短管之间采用螺纹连接在一起，且所述金属短管的一端设置于所述反应器内；所述金属短管和多孔石墨分配器通过两端压力压紧在一起；

主体内循环水套，用于冷却所述中路气体管道，

其中，所述中路气体管道穿插通过所述主体内循环水套；

石墨隔热套，与所述反应器和所述主体内循环水套连接，用于隔离所述反应器和所述主体内循环水套周围的热源。

2.根据权利要求1所述的用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备，其特征在于，所述主体内循环水套呈圆筒状，且所述主体内循环水套内设置有水流隔板，使得冷水由所述主体内循环水套的内侧流进，经所述主体内循环水套的顶端由所述主体内循环水套的外侧流出。

3.根据权利要求1所述的用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备，其特征在于，所述主体内循环水套与所述中路气体管道之间设置有间隔，以形成环路气体冷却通道。

4.根据权利要求1所述的用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备，其特征在于，所述中路气体主管由不锈钢制成。

5.根据权利要求1所述的用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备，其特征在于，所述金属短管由金属钼或金属钨制成。

6.根据权利要求1所述的用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备，其特征在于，所述中路气体主管与所述金属短管的螺纹连接处低于所述主体内循环水套的顶端。

7.根据权利要求3所述的用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备，其特征在于，所述多孔石墨气体分配器设置于所述反应器的底部，用于使得所述环路气体冷却通道和所述中路气体管道与所述反应器连通。

8.根据权利要求7所述的用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备，其特征在于，所述多孔石墨气体分配器设置有多个均匀分布的环路孔道及中心孔道，所述环路孔道与所述环路气体冷却通道连通，所述中心孔道与所述中路气体管道连通，且所述环路孔道与通过挤压插入所述多孔石墨气体分配器的中路气体管道的外侧壁面圆相切或相交。