[发明专利]形状测量装置、加工装置及形状测量方法有效
| 申请号： | 201610102657.8 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN105928482B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 高娜;市原浩一 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 形状 测量 装置 加工 测量方法 | ||
【权利要求书】：
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