[发明专利]检验能借助驱动装置和控制装置关于至少一个轴线移动的机器部件的定位精度的方法有效
| 申请号： | 201610102709.1 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN105910562B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 里基·贝格霍尔德;拉尔斯·伊门罗特;罗伯特·普拉夫斯基;约翰内斯·韦尔克 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;李慧 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检验 借助 驱动 装置 控制 关于 至少 一个 轴线 移动 机器 部件 定位 精度 方法 | ||
【权利要求书】：
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