[发明专利]一种柔性阵列压敏传感器的丝网印刷制作方法

权利要求书

1.选一个网框和一个柔性载体，用拉网机拉好，在桌面上把拉好的柔性载体固定好，在柔性载体上面用传感器基板印刷网版压好，用保护层油墨印刷传感器基板（5）并加热固化，如图12；在基板上利用传感器水平导线印刷网版和柔性导线油墨采用同样方法印刷水平导线（6）并加热固化，如图13；在水平导线上利用传感器压敏电阻印刷网版和柔性压敏电阻油墨采用同样方法印刷电阻层（7）并加热固化，如图14；在此基础上利用传感器竖直导线印刷网版和柔性导线油墨采用同样方法印刷竖直导线（8）并加热固化，如图15；最后利用传感器盖板印刷网版和保护层油墨采用同样的方法印刷盖板（10）并加热固化，如图16。

2.权利要求1所述一种柔性阵列压敏传感器的丝网印刷制作方法，其特征在于：柔性导线油墨和柔性压敏电阻油墨的配制方法，在由碳纳米管与纳米石墨粉按比例为1:(0.1-20)组成的碳纳米管粉混合物中加入适量的纳米分散剂，放入超声波清洗机中振荡，然后把分散好的碳纳米管粉混合物加到聚二甲基硅氧烷中后继续在超声波清洗机中振荡，然后加入一定比例的固化剂，在超声波清洗机中继续振荡，一定时间后，不同比例的碳纳米管粉混合物与聚二甲基硅氧烷混合分别制成柔性压敏电阻油墨和柔性导线油墨，柔性压敏电阻油墨中碳纳米管粉混合物与聚二甲基硅氧烷的比例为(0.01-0.3):1，柔性导线油墨中碳纳米管粉混合物与聚二甲基硅氧烷比例为(0.1-0.9):1，聚二甲基硅氧烷中加入适量的固化剂制成用于制作传感器基板和盖板的保护层油墨。

3.权利要求1所述一种柔性阵列压敏传感器的丝网印刷制作方法，其特征在于：丝网网版的制作方法，选一个网框和网纱，用拉网机拉好，用粘网胶粘住，利用除油剂把网纱处理干净，得到空的网版，如图6，利用上浆器把感光胶均匀地涂在空的网版上，烘干后得到未曝光的网版，重复上面步骤，制作五块相同的未曝光的网版，将图1、图2、图3、图4、图5中的胶片分别放在五个丝网网版下面，然后放在曝光箱上分别进行曝光，曝光后利用水枪冲洗已经曝光的网版，将未感光的部分（3）用水冲掉，感光的部分（4）留在网纱上，等图形完全出现后烘干网版，得五个印刷网版，如图7、图8、图9、图10、图11。

4.权利要求1所述一种柔性阵列压敏传感器的丝网印刷制作方法，其特征在于：丝网网版的制作方法，选一个网框和网纱，用拉网机拉好，用粘网胶粘住，利用除油剂把网纱处理干净，得到空的网版，如图6，将图1、图2、图3、图4、图5中的胶片分别与五张水菲林合在一起在曝光箱上进行曝光，将曝光后的五张水菲林放在显影液中一分钟，用莲蓬式喷头冲洗至图案完全显现，将显影后的水菲林分别贴于五个空网版上，用吸水器吸干水份，干燥后将上面的透明胶纸揭去得五个印刷网版，如图7，图8，图9，图10，图11。

5.权利要求1所述一种柔性阵列压敏传感器的丝网印刷制作方法，其特征在于：丝网网版的制作方法，选一个网框和网纱，用拉网机拉好，用粘网胶粘住，利用除油剂把网纱处理干净，得到空的网版，如图6，把五个空网版用水润湿，直接把五张菲林分别贴于五个空网版上，然后用吸水器吸干水份,干燥后将上面的透明胶纸揭去，将图1、图2、图3、图4、图5中的胶片分别与粘贴好菲林的五个网版在一起进行曝光，利用水枪喷洒水，冲洗至图案完全显现，然后烘干得五个印刷网版，如图7，图8，图9，图10，图11。

6.权利要求1所述一种柔性阵列压敏传感器的丝网印刷制作方法，其特征在于：丝网网版的制作方法，选一个网框和网纱，用拉网机拉好，用粘网胶粘住，利用除油剂把网纱处理干净，得到空的网版，如图6，用小型平头毛笔蘸明胶、乳剂在五个空的网版上分别进行描涂图1、图2、图3、图4、图5中胶片上的图案，堵塞不需漏墨的网孔，即可制成个五个印刷网版，如图7，图8，图9，图10，图11。

7.权利要求1所述一种柔性阵列压敏传感器的丝网印刷制作方法，其特征在于：丝网网版的制作方法，在刚性材料上进行刻蚀或雕刻，按照图1、图2、图3、图4、图5中胶片上的图案进行雕刻，需要印刷的部分刻蚀或雕刻出孔，用这种方法可得五个印刷网版，如图7，图8，图9，图10，图11。