[发明专利]一种水性金刚线硅片切割液有效
申请号: | 201610109455.6 | 申请日: | 2016-02-26 |
公开(公告)号: | CN105695076B | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
发明(设计)人: | 张小飞 | 申请(专利权)人: | 常州高特新材料有限公司 |
主分类号: | C10M173/02 | 分类号: | C10M173/02;C10N30/04 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 王美华 |
地址: | 213100 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 水性 金刚 硅片 切割 | ||
1.一种水性金刚线硅片切割液,其特征在于:所述的水性金刚线硅片切割液的组分包括极压剂、表面活性剂、消泡剂、渗透剂、丁苯橡胶乳液粘合剂和去离子水;其中,所述的水性金刚线硅片切割液按重量份数计算,包括以下各组分,
2.如权利要求1所述的水性金刚线硅片切割液,其特征在于:所述的极压剂为硼酸酯类极压剂。
3.如权利要求1所述的水性金刚线硅片切割液,其特征在于:所述的表面活性剂为醇类非离子表面活性剂,结构为RO(C3H6O)a(CH2CH2O)b(C3H6O)cH,其中,R为H、烯丙基、正丁基或异丁基;a=10~30、b=10~30、c=10~30。
4.如权利要求1所述的水性金刚线硅片切割液,其特征在于:所述的消泡剂为二甲基硅油。
5.如权利要求1所述的水性金刚线硅片切割液,其特征在于:所述的渗透剂为脂肪醇聚氧乙烯醚或烷基酚聚氧乙烯醚。
6.如权利要求1所述的水性金刚线硅片切割液,其特征在于:所述的丁苯橡胶乳液粘合剂为SBR l006型胶粘剂。
7.如权利要求1所述的水性金刚线硅片切割液的制备方法,其特征在于:所述制备方法为,
向去离子水中加入表面活性剂、渗透剂、消泡剂、丁苯橡胶乳液粘合剂以及极压剂,搅拌均匀即得到水性金刚线硅片切割液。
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