[发明专利]半导体激光器巴条单元一致性检测仪及其检测方法有效
申请号: | 201610110814.X | 申请日: | 2016-02-29 |
公开(公告)号: | CN105784330B | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 曹军胜;高志坚;尹红贺 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人: | 刘慧宇 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 巴条 微控制器系统 线阵CCD 发光点 半导体激光器 程控电流源 一致性检测仪 光学透镜 探针台 电极 检测 检测技术领域 读取 输出端连接 光电特性 扫描电流 样本计算 一维导轨 激光器 均匀性 一次线 方差 探针 成像 饱和 采集 驱动 | ||
1.半导体激光器巴条单元一致性检测仪的检测方法,其特征是,包括以下步骤:
步骤一,将探针台(1)、光学透镜(2)和线阵CCD(3)均安装于一维导轨(6)上;线阵CCD(3)和程控电流源(5)均与微控制器系统(4)连接;被测巴条(7)安装于探针台(1)上,程控电流源(5)的输出端连接探针台(1)的电极,电极与被测巴条(7)连接;
步骤二,微控制器系统(4)控制程控电流源(5)产生步进扫描电流用于驱动被测巴条(7),被测巴条(7)的各发光点经过光学透镜(2)成像于线阵CCD(3),微控制器系统(4)通过线阵CCD(3)采集被测巴条(7)各发光点的亮度峰值,扫描电流每增大一步,微控制器系统(4)就读取一次线阵CCD(3),直至有发光点的亮度峰值达到线阵CCD(3)的饱和值为止;
步骤三,微控制器系统(4)以步骤二中被测巴条(7)各发光点的亮度为样本计算其方差,作为评价被测巴条(7)各单元一致性的指标,方差越大说明一致性越差,方差越小则说明一致性越好;设被测巴条(7)有n个发光点,所测各发光点的亮度值分别为x1、x2、...、xn,则方差s2的计算公式为:
其中,
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