[发明专利]一种自动键合设备

权利要求书

1.一种自动键合设备，其特征在于，包括：

一固定支架；

安装于所述固定支架上的旋转电机，所述旋转电机驱动所述固定支架绕竖向中心轴旋转；

固定于所述固定支架上的3n个拾取机构，所述3n个拾取机构以所述竖向中心轴为中心点对称分布于固定支架的底面上；以及

n个拾取工位、n个对准工位和n个键合工位，所述n个拾取工位、n个对准工位和n个键合工位按顺序依次对应排列于所述3n个拾取机构的下方，其中，n为正整数。

2.如权利要求1所述的自动键合设备，其特征在于，所述旋转电机每次带动所述固定支架旋转的角度为360°/3n。

3.如权利要求1所述的自动键合设备，其特征在于，每个所述拾取机构分别包括垂向电机、导轨以及拾取头，所述导轨沿竖向固定于所述固定支架上，所述垂向电机安装于所述导轨上，所述拾取头固定于所述垂向电机上，所述垂向电机能够带动所述拾取头沿所述导轨滑动。

4.如权利要求3所述的自动键合设备，其特征在于，每个所述拾取机构还包括一翻转机构，所述翻转机构设置于所述垂向电机和拾取头之间，带动所述拾取头翻转。

5.如权利要求1所述的自动键合设备，其特征在于，所述拾取工位包括用于承载蓝膜片的拾取工件台，和用于限定所述蓝膜片在所述拾取工件台上的位置的拾取夹持机构。

6.如权利要求5所述的自动键合设备，其特征在于，所述拾取工件台与所述蓝膜片之间还设有顶针。

7.如权利要求1所述的自动键合设备，其特征在于，所述对准工位包括用于承载芯片并丢弃缺陷芯片的对准承片台，和用于缺陷检测和对准的成像机构。

8.如权利要求7所述的自动键合设备，其特征在于，所述键合工位包括用于承载待键合晶圆或基板的键合工件台，和用于限定所述待键合晶圆或基板在所述 键合工件台上的位置的键合夹持机构。

9.如权利要求8所述的自动键合设备，其特征在于，所述键合夹持机构根据所述成像机构测得的位置偏差调整所述待键合晶圆或基板在所述键合工件台上的位置。