[发明专利]一种用于金刚石线切割硅片的冷却液

权利要求书

1.一种用于金刚石线切割的水基冷却液，其包含99.8-99.95重量份的水、0.01-0.07重量份的润湿剂、0.01-0.07重量份的乳化分散剂、0.01-0.05重量份的消泡剂和0.001-0.015重量份的金属抑制剂。

2.根据权利要求1所述的用于金刚石线切割的水基冷却液，其包含99.8-99.95重量份的水、0.05-0.07重量份的润湿剂、0.03-0.06重量份的乳化分散剂、0.03-0.05重量份的消泡剂和0.005-0.015重量份的金属抑制剂。

3.根据权利要求1所述的用于金刚石线切割的水基冷却液，其包含99.8-99.95重量份的去离子水、0.01-0.05重量份的润湿剂、0.01-0.04重量份的乳化分散剂、0.01-0.04重量份的消泡剂及0.001-0.005重量份的金属抑制剂。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的用于金刚石线切割的水基冷却液，其中，所述润湿剂为选自脂肪醇硫酸盐、烷基磺酸盐、烷基丁二酸磺酸盐、辛基酚聚氧乙烯醚中的一种或两种以上。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的用于金刚石线切割的水基冷却液，其中，所述乳化分散剂为选自聚乙烯醇、聚乙二醇、聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、多元醇酯中的一种或两种以上。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的用于金刚石线切割的水基冷却液，其中，所述消泡剂选自有机硅氧烷和聚醚中的一种或两种以上。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的用于金刚石线切割的水基冷却液，其中，所述金属抑制剂为选自三乙醇胺、亚硝酸钠、苯并三氮唑及亚磷酸二正丁酯中的一种或两种以上。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的用于金刚石线切割的水基冷却液，其中，所述润湿剂为选自石油磺酸钠、辛基酚聚氧乙烯醚和琥珀酸二异辛酯磺酸钠中的一种或两种以上。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的用于金刚石线切割的水基冷却液，其中，所述乳化分散剂为选自聚乙二醇200、马来酸二乙基己酯中的一种或两种混合物。

10.一种制备权利要求1所述的用于金刚石线切割的水基冷却液的方法，该方法包括：

1)将0.001-0.015重量份的金属抑制剂及0.01-0.05重量份的消泡剂添加至99.8-99.95重量份的水中搅拌均匀；以及

2)将0.01-0.07重量份的润湿剂和0.01-0.07重量份的乳化分散剂添加至步骤1)所得到的混合液中，搅拌均匀得到用于金刚石线切割的水基冷却液。