[发明专利]一种压印电极微栅薄膜的模具辊制作方法

权利要求书

1.一种压印电极微栅薄膜的模具辊制作方法，其特征在于：所述制作方法具体步骤如下：

（1）在模具辊的外表面涂覆一层厚度为2-4µm的掩蔽胶；

（2）通过激光直写装置直写光蚀掉掩蔽胶层，直至模具辊金属表面，在模具辊上形成宽度为3-5µm，高度为2-4µm的槽状电极微栅图形，使用3W短波长266nm激光，线扫描速度500mm/秒，数毫秒即可蚀去掩蔽胶；

（3）采用超声水清洗处理光蚀后的模具辊，去除残留在电极微栅图形上的掩蔽胶以及模具辊表面轻微的金属氧化物残渣，超声功率控制在1500～2000W范围内，超声频率控制在20～130kHz范围内，模具辊旋转速度20～120转/分钟，采用电阻大于12兆欧，且温度在20～40℃范围内的纯水进行清洗100～150s；

（4）通过电沉积处理，处理后，在模具辊上形成凸起的电极微栅图形纹路；所述步骤（4）中的电沉积处理为电沉积镍或电沉积铜中的一种，所述电沉积铜采用氟硼酸铜盐溶液沉积金属铜的温度为25至50摄氏度，阴极电流密度5至30 安培/平方分米，辊筒旋转速度20至60转/分钟，沉积金属铜到需要厚度；所述电沉积镍采用氟硼酸镍型溶液，工作温度45至55摄氏度，阴极电流密度2.5至10 安培/平方分米，辊筒旋转速度20至60转/分钟，沉积金属镍到需要厚度。