[发明专利]一种采用窄脉宽激光直写的电极微栅加工模具辊的方法有效
申请号: | 201610114112.9 | 申请日: | 2016-03-01 |
公开(公告)号: | CN105665937B | 公开(公告)日: | 2017-09-15 |
发明(设计)人: | 邱晓华;王新辉 | 申请(专利权)人: | 南通天鸿镭射科技有限公司 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;B23K26/362;B23K26/0622;B23K26/70 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙)11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 采用 窄脉宽 激光 极微 加工 模具 方法 | ||
1.一种采用窄脉宽激光直写的电极微栅加工模具辊的方法,其特征在于:所述方法具体步骤如下:
(1)选取激光装置:选用皮秒266nm、能量密度大于20uJ@100KHz的深紫外激光器作为能量源;
(2)激光光蚀:将激光光束经过扩速、准直和光斑整形汇聚到模具辊的辊筒材料表面,对模具辊金属层进行冷加工,激光光蚀线速度200到2000mm/秒、平均功率3-20W对模具辊金属表面进行多次矢量图形光蚀,从而形成需要的凹进的电极微栅图形;
(3)后处理:激光光蚀后,对辊筒材料表面进行超声波处理、化学或电镀抛光,进而优化光蚀图形表面。
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