[发明专利]制造高分辨率有机薄膜图案的方法

权利要求书

1.一种形成有机薄膜图案的方法，该方法由以下步骤组成：

在基板上形成第一有机层；

通过选择性地向所述第一有机层照射光能来选择性地去除所述第一有机层的一部分，并将所述第一有机层的剩余部分形成为牺牲层；

在所述基板和所述牺牲层的整个表面上形成第二有机层，所述第二有机层利用沉积方法形成；以及

通过利用溶剂去除所述牺牲层来剥离形成在所述牺牲层上的第二有机层，并将剩余的第二有机层形成为第二有机层图案；

其中在形成第一有机层时，所述第一有机层包括氟基聚合物，所述氟基聚合物是下面化学式1或2所表示的化合物：

化学式1

其中n是50与1000之间的整数，

化学式2

其中m是50与1000之间的整数，并且n是50与1000之间的整数；

其中在选择性地去除所述第一有机层时，使用激光烧蚀方法向布置在所述第一有机层上的具有预定图案的掩膜照射受激准分子激光；

其中在剥离所述第二有机层时，所述溶剂是氟基溶剂，

其中在形成所述第二有机层时，所述第二有机层由包含布置在所述基板上且位于第一电极与第二电极之间的有机发光材料的有机发光器件的有机发光材料形成，

形成不同颜色的多层有机发光材料以便发出白光；

其中所述第一有机层是氟基聚合物膜，并且所述氟基聚合物膜通过熔化具有低沸点的氟化溶剂来利用，

其中所述形成有机薄膜图案的方法不需要另外的化学显影工艺。

2.根据权利要求1所述的形成有机薄膜图案的方法，其中在形成所述第二有机层时，所述第二有机层是有机薄膜晶体管的有源层。

3.根据权利要求1所述的形成有机薄膜图案的方法，其中在形成所述第二有机层时，所述第二有机层由有机滤色器材料形成。

4.一种形成有机薄膜图案的方法，该方法由以下步骤组成：

(a)在基板上形成第一有机层；

(b)通过选择性地向所述第一有机层照射光能来选择性地去除所述第一有机层的一部分，并由所述第一有机层的剩余部分形成牺牲层；

(c)在所述基板和所述牺牲层的整个表面上形成第二有机层，所述第二有机层利用沉积方法形成；

(d)通过利用溶剂去除所述牺牲层来剥离形成在所述牺牲层上的第二有机层，并且由剩余的第二有机层形成第二有机层图案；以及

(e)在形成有所述第二有机层图案的基板上重复执行步骤(a)至(d)，以在所述基板的未形成所述第二有机层图案的区域上形成另一第二有机层图案；

其中在形成第一有机层时，所述第一有机层包括氟基聚合物，所述氟基聚合物是下面化学式1或2所表示的化合物：

化学式1

其中n是50与1000之间的整数，

化学式2

其中m是50与1000之间的整数，并且n是50与1000之间的整数；

其中在选择性地去除所述第一有机层时，使用激光烧蚀方法向布置在所述第一有机层上的具有预定图案的掩膜照射受激准分子激光；

其中在剥离所述第二有机层时，所述溶剂是氟基溶剂,

其中在形成所述第二有机层时，所述第二有机层由包含布置在所述基板上且位于第一电极与第二电极之间的有机发光材料的有机发光器件的有机发光材料形成，

在形成所述第二有机层期间形成的有机发光材料具有与重复执行步骤(a)至(d)期间形成的有机发光材料不同的颜色；

其中所述第一有机层是氟基聚合物膜，并且所述氟基聚合物膜通过熔化具有低沸点的氟化溶剂来利用，

其中所述形成有机薄膜图案的方法不需要另外的化学显影工艺。

5.根据权利要求4所述的形成有机薄膜图案的方法，其中所述有机发光材料由低分子量的材料形成。