[发明专利]用于用RF产生器操作以控制等离子体工艺的阻抗匹配电路在审
| 申请号： | 201610116444.0 | 申请日： | 2016-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN105938785A | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 阿列克谢·马拉霍塔诺夫;菲力克斯·科扎克维奇;约翰·帕特里克·霍兰德;布雷特·雅各布斯 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 rf 产生器 操作 控制 等离子体 工艺 阻抗匹配 电路 | ||
【说明书】：
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