[发明专利]一种硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法有效

专利信息
申请号: 201610119459.2 申请日: 2016-03-02
公开(公告)号: CN105776219B 公开(公告)日: 2019-01-15
发明(设计)人: 程志 申请(专利权)人: 安庆中凯信息技术咨询有限公司
主分类号: C01B32/956 分类号: C01B32/956;C01B33/02;B03D1/018;B03D101/02
代理公司: 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 代理人: 程笃庆;黄乐瑜
地址: 246200 安徽省安庆市望江县*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 切削 废液 碳化硅 回收 方法
【权利要求书】:

1.一种硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法,其特征在于,包括如下步骤:取硅片切削废液,加入降粘剂混匀,过滤,用浓度为2-3mol/L 盐酸水溶液洗滤饼40-50min,过滤干燥得废料;将废料加入水中,升温至60-80℃,搅拌保温15-25h,加浮选溶液,以200-400r/min的速度搅拌20-30min,静置1-3h,取上层溶液,过滤,用乙醇和水依次洗涤,过滤,干燥得到碳化硅;取下层固体,过滤,用乙醇和水依次洗涤,过滤,干燥得到硅;

其中,浮选溶液的原料包括:煤油、十二烷基胺醋酸盐、十八烯酸钠、松节油透醇、仲辛醇、磷酸乙二胺、磷酸丙二胺、羧甲基纤维素钠、乙二酸、质量分数为30-36wt%盐酸水溶液、水。

2.根据权利要求1所述硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法,其特征在于,硅片切削废液和降粘剂的体积比为10:3-5。

3.根据权利要求1或2所述硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法,其特征在于,降粘剂为水或丙酮中的一种。

4.根据权利要求1或2所述硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法,其特征在于,滤饼和浓度为2-3mol/L 盐酸水溶液的重量体积比为1g:2-2.5mL 。

5.根据权利要求1或2所述硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法,其特征在于,废料与水的重量体积比为2-4g:170-330mL 。

6.根据权利要求1或2所述硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法,其特征在于,废料与浮选溶液的重量体积比为0.8-1.2g:40-60mL 。

7.根据权利要求1或2所述硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法,其特征在于,浮选溶液的原料按重量份包括:煤油20-40份,十二烷基胺醋酸盐5-10份,十八烯酸钠5-10份,松节油透醇1-3份,仲辛醇1-2份,磷酸乙二胺1-2份,磷酸丙二胺1-2份,羧甲基纤维素钠0.5-1份,乙二酸0.5-1份,质量分数为30-36wt%盐酸水溶液0.01-0.03份,水30-70份。

8.根据权利要求1或2所述硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法,其特征在于,浮选溶液的原料按重量份包括:煤油25-35份,十二烷基胺醋酸盐6-8份,十八烯酸钠7-9份,松节油透醇1.5-2.5份,仲辛醇1.2-1.8份,磷酸乙二胺1.3-1.7份,磷酸丙二胺1.2-1.8份,羧甲基纤维素钠0.6-0.8份,乙二酸0.7-0.9份,质量分数为30-36wt%盐酸水溶液0.015-0.025份,水40-60份。

9.根据权利要求1或2所述硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法,其特征在于,浮选溶液的制备方法为:将水、十二烷基胺醋酸盐、十八烯酸钠混合均匀,升温至30-50℃,加入煤油、松节油透醇、仲辛醇混合均匀,加入磷酸乙二胺、磷酸丙二胺、羧甲基纤维素钠、乙二酸、质量分数为30-36wt%盐酸水溶液混合均匀得到浮选溶液。

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