[发明专利]平整薄膜层喷孔结构及喷墨打印机

说明书

技术领域

本发明涉及一种平整薄膜层喷孔结构，更确切地说，是一种用于喷墨打印技术的平整薄膜层喷孔结构，以及应用所述平整薄膜层喷孔结构的喷墨打印机。

背景技术

目前业界传统实现压力腔的结构有两种：

如图1所示的一种现有结构，其主要特点为顶部材质与墙体材质不同，其实现工艺较复杂，很难用常规的MEMS方法进行批量制造。此结构首先通过光刻的方式形成压力腔的外形，再将已进行激光打孔形成喷孔的聚酰亚胺(polyimide)薄膜通过对位的方式粘贴到墙体的顶部。此结构的缺点是：

1、聚酰亚胺(polyimide)薄膜在对位粘贴时存在对位误差，喷孔偏离目标位置。

2、聚酰亚胺(polyimide)薄膜贴附于墙体顶部时，聚酰亚胺(polyimide)薄膜的黏附均匀性以及粘着力的大小会存在偏差。

如图2所示的另一种现有结构，其主要特点为顶部材质与墙体材质相同，但是喷孔层的上表面不平整，相邻喷孔之间易造成油墨和其他污染物的累积，并且在喷孔擦洗过程中造成喷孔污染或堵塞。此结构采用MEMS集成的方法，首先用有机牺牲材料形成压力腔的外形，然后通过沉积的方式（PECVD）将无机材料（sio2)覆盖在有机牺牲材料压力腔外形的四周，形成压力腔的墙体和顶部，之后再用光刻及干法刻蚀的方法在压力腔顶部形成喷孔，最后通过干法刻蚀（氧洗）的方式将有机牺牲材料去除，形成压力腔。此结构的缺点是：

1、压力腔之间会形成凹槽，容易造成油墨和其他污染物的累积，在喷孔擦洗过程中会造成喷孔污染或堵塞。

2、此种结构的压力腔墙体很薄，此结构在喷头擦洗过程中易受损伤。

发明内容

本发明提供一种表面平整不会累积污染物、坚固且易批量制造的平整薄膜层喷孔结构，从而解决业界传统压力腔形成技术所存在的的技术问题。

本发明的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

一种平整喷孔薄膜层结构，包含一基底，所述的基底上设有若干进墨通道，所述的基底的表面平整地覆盖一薄膜层，在所述薄膜层的内部设有若干压力腔，所述的压力腔与进墨通道一一对应并相互连通，所述薄膜层的表面还设有若干喷孔，所述喷孔与压力腔一一对应并相互连通。

作为本发明较佳的实施例，所述的压力腔之间设有隔层。

作为本发明较佳的实施例，所述的薄膜层由有机材料制成。

作为本发明较佳的实施例，所述的薄膜层由高分子化合物或氟化物制成。

本发明还提供一种喷墨打印机，所述喷墨打印机包括平整喷孔薄膜层结构，所述平整喷孔薄膜层结构包括基底，所述的基底上设有若干进墨通道，所述的基底的表面平整地覆盖一薄膜层，在所述薄膜层的内部设有若干压力腔，所述的压力腔与进墨通道一一对应并相互连通，所述薄膜层的表面还设有若干喷孔，所述喷孔与压力腔一一对应并相互连通。

由于本发明的平整薄膜层喷孔结构的薄膜层整体由有机材料形成，易于制造且在表面不会形成凹槽，不会造成油墨和其他污染物的累积；压力腔墙体坚固不易损坏。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为目前业界传统实现压力腔的一种结构；

图2为目前业界传统实现压力腔的另一种结构；

图3为本发明平整喷孔薄膜层结构不带隔层的示意图；

图4为本发明平整喷孔薄膜层结构带隔层的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的优选实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图3所示，一种平整喷孔薄膜层结构1，包含一基底2，所述的基底2上设有若干进墨通道3，所述的基底2的表面平整地覆盖一薄膜层5，在所述薄膜层5的内部设有若干压力腔4，所述的压力腔4与进墨通道3一一对应并相互连通，所述薄膜层5的表面还设有若干喷孔6，所述喷孔6与压力腔4一一对应并相互连通。

如图4所示，所述的压力腔4之间还可以设有隔层7。

薄膜层5由有机材料制成，优选的有机材料为高分子化合物或氟化物制成。