[发明专利]微结构加工装置在审
| 申请号： | 201610120961.5 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN106873166A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 詹家铭;洪正翰;林英傑 | 申请（专利权）人： | 财团法人金属工业研究发展中心 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司11355 | 代理人： | 张雅军 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微结构 加工 装置 | ||
1.一种微结构加工装置，用于加工一个待加工件，其特征在于：该微结构加工装置包含一个可控制出光方向及出光形状并朝该待加工件方向出光的光源、一个位于该光源及该待加工件间的第一锥状镜，及一个位于该第一锥状镜及该待加工件间的第二锥状镜，该光源投射出的光是依序通过该第一锥状镜及该第二锥状镜而形成贝索光束，以加工该待加工件。
2.根据权利要求1所述的微结构加工装置，其特征在于：该第一锥状镜包括一个第一环锥面，及一个相反于该第一环锥面且面向该光源的第一平面，该第二锥状镜包括一个面向该第一环锥面的第二环锥面，及一个相反于该第二环锥面且面向该待加工件的第二平面。
3.根据权利要求2所述的微结构加工装置，其特征在于：该微结构加工装置还包含一个位于该第二锥状镜及该待加工件间的透镜，该光源投射出的光是依序通过该第一平面、该第一环锥面、该第二环锥面、该第二平面，及该透镜而形成贝索光束，以加工该待加工件。
4.根据权利要求1所述的微结构加工装置，其特征在于：该光源为点光源。
5.根据权利要求1所述的微结构加工装置，其特征在于：该第一锥状镜包括一个面向该光源的第一环锥面，及一个相反于该第一环锥面的第一平面，该第二锥状镜包括一个面向该第一平面的第二环锥面，及一个相反于该第二环锥面且面向该待加工件的第二平面，以加工该待加工件。
6.根据权利要求5所述的微结构加工装置，其特征在于：该微结构加工装置还包含一个位于该第二锥状镜及该待加工件间的透镜，该光源投射出的光是依序通过该第一环锥面、该第一平面、该第二环锥面、该第二平面，及该透镜而形成贝索光束，以加工该待加工件。
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