[发明专利]一种球体真空镀膜装夹装置有效
申请号: | 201610124466.1 | 申请日: | 2016-03-04 |
公开(公告)号: | CN105671512B | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 陈仁德;汪爱英;孙丽丽;张栋;柯培玲;郭鹏;李晓伟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人: | 李丽华 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 球体 真空镀膜 装置 | ||
1.一种球体真空镀膜装夹装置,其特征在于:所述球体真空镀膜装夹装置包括一个底盘,一个固定设置在所述底盘上的中心轴,一个围绕该中心轴旋转的公转驱动机构,一个与公转驱动机构固定连接的盖板,以及一个固定设置在该盖板上的放置环,至少一个设置在所述公转驱动机构上并随该公转驱动机构绕所述中心轴旋转的球体装夹机构,以及一个设置在所述底盘上并围绕该中心轴旋转并驱动所述球体装夹机构自转的自转驱动机构,所述球体装夹机构包括一盘滚动轴承,一个设置在所滚动轴承上的自转轴,所述滚动轴承设置在所述自转轴与公转驱动机构之间,所述放置环与所述自转轴之间存在间隙,所述间隙小于所述被镀膜球体的直径,所述放置环以及所述自转轴配合支撑所述被镀膜球体,所述自转轴的转动能够带动所述被镀膜球体沿所述间隙运动。
2.如权利要求1所述的球体真空镀膜装夹装置,其特征在于:所述公转驱动机构包括一个公转驱动源,一个由该公转驱动源驱动的公转齿轮组,所述公转齿轮组上设置有至少一个装夹机构放置孔,所述装夹机构放置孔用于设置所述球体装夹机构。
3.如权利要求2所述的球体真空镀膜装夹装置,其特征在于:所述公转驱动源为电机,所述公转齿轮组包括一个与该电机啮合的第一公转齿轮,一个与该第一公转齿轮啮合并围绕该中心轴旋转的第二公转齿轮,以及一个与该第二公转齿轮刚性连接的第三公转齿轮,所述第三公转齿轮围绕所述中心轴旋转并设置有所述的装夹机构放置孔。
4.如权利要求1所述的球体真空镀膜装夹装置,其特征在于:所述自转驱动机构包括一个自转驱动源,一个由该自转驱动源驱动的自转齿轮组,所述自转齿轮组驱动所述球体装夹机构的自转轴转动。
5.如权利要求4所述的球体真空镀膜装夹装置,其特征在于:所述自转驱动源为电机,所述自转齿轮组包括一个与该电机啮合的第一自转齿轮,一个与该第一自转齿轮啮合并围绕所述中心轴旋转的第二自转齿轮,以及一个与第二自转齿轮刚性连接的第三自转齿轮,所述第三自转齿轮围绕所述中心轴旋转并驱动所述球体装夹机构的自转轴转动。
6.如权利要求5所述的球体真空镀膜装夹装置,其特征在于:所述自转轴上设置有与所述第三自转齿轮相啮合的齿轮片,该齿轮片随所述第三自转齿轮并绕所述自转轴的中心轴转动。
7.如权利要求5所述的球体真空镀膜装夹装置,其特征在于:所述第二自转齿轮放置在所述底盘上,所述第二自转齿轮与底盘之间分别对应设置有一条第二自转齿轮下凹槽和底盘上凹槽,所述底盘包括一盘设置在所述第二自转齿轮下凹槽与底盘上凹槽之间的底盘滚珠。
8.如权利要求3所述的球体真空镀膜装夹装置,其特征在于:所述自转驱动机构包括一个自转驱动源,一个由该自转驱动源驱动的自转齿轮组,所述自转齿轮组驱动所述球体装夹机构的自转轴转动,所述自转驱动源为电机,所述自转齿轮组包括一个与该电机啮合的第一自转齿轮,一个与该第一自转齿轮啮合并围绕所述中心轴旋转的第二自转齿轮,以及一个与第二自转齿轮刚性连接的第三自转齿轮,所述第三自转齿轮围绕所述中心轴旋转并驱动所述球体装夹机构的自转轴转动,所述第二自转齿轮与所述第二公转齿轮之间分别设置有第二自转齿轮上凹槽和第二公转齿轮下凹槽,所述自转驱动机构还包括一盘设置在所述第二自转齿轮上凹槽和第二公转齿轮下凹槽之间的自转滚珠。
9.如权利要求8所述的球体真空镀膜装夹装置,其特征在于:所述公转驱动机构的第二、第三公转齿轮设置在所述第二、第三自转齿轮之间。
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