[发明专利]蚀刻液再生系统

权利要求书

1.一种蚀刻液再生系统，其特征在于，包括主液管路、取样管路、 多条添加管路、用于检测主液成份的成份检测单元及控制器，所述取样 管路的进液端和所述添加管路的出液端分别与所述主液管路连通，所述 成份检测单元位于所述取样管路内，所述主液管路包括由管道依次连通 的主液流量计及水射器，沿主液流动方向，所述主液流量计与所述取样 管路的进液端均设置于所述水射器的后端，多条所述添加管路的出液端 分别与所述水射器连通，所述添加管路包括药水流量计及气阀，所述药 水流量计、所述气阀和所述水射器依次连通，所述成份检测单元、主液 流量计、药水流量计和所述气阀分别与所述控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的蚀刻液再生系统，其特征在于，所述水 射器包括喷嘴、扩压管及与所述喷嘴和所述扩压管连通的吸入室，多条 所述添加管路分别与所述吸入室连通。

3.根据权利要求1所述的蚀刻液再生系统，其特征在于，所述添 加管路还包括入液阀及过滤器，所述入液阀、过滤器、药水流量计和所 述气阀依次连通。

4.根据权利要求3所述的蚀刻液再生系统，其特征在于，所述添 加管路设有3条，分别为水添加管路、盐酸添加管路及氧化剂添加管路。

5.根据权利要求1所述的蚀刻液再生系统，其特征在于，所述成 份检测单元包括分别与所述控制器电连接的电位检测器、比重检测器及 电导率检测器。

6.根据权利要求1所述的蚀刻液再生系统，其特征在于，所述蚀 刻液再生系统还包括显示单元，所述显示单元与所述控制器电连接。

7.根据权利要求6所述的蚀刻液再生系统，其特征在于，所述显 示单元包括分别与所述控制器电连接的若干个参数仪表及主监控仪表。

8.根据权利要求1所述的蚀刻液再生系统，其特征在于，所述控 制器为可编程控制器。

9.根据权利要求1所述的蚀刻液再生系统，其特征在于，所述主 液流量计和所述药水流量计为浮球式流量计或感应式流量计。