[发明专利]一种从氮化镓废料中回收金属镓的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种氮化镓废料回收方法，尤其涉及一种从氮化镓废料回收金属镓的方法。

背景技术

目前生产氮化镓衬底的工艺，基本上采用金属有机源气相沉积法，在蓝宝石上生长氮化镓。在生产过程中产生的氮化镓废料中，含镓量在70-80％，远远高于砷化镓、磷化镓等一些Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体过程中产出的含镓废料。

氮化镓熔点约为1700℃，高熔点很难采用分解法进行金属镓的回收。但也有相关报道，采用通氢法，在高温条件下将氮化镓分解金属镓与氨气，但金属镓回收率不高。也有报道采用王水与氮化镓进行反应在，反应的速度很慢，且反应过程中产出氮氧化物有害废气，不宜实现工业生产。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的上述不足之处，提供一种从氮化镓废料回收金属镓的方法。实现本发明目的的技术方案是：

一种从氮化镓废料中回收金属镓的方法，将氮化镓置于反应容器中，然后将氢氧化钠与与氧化剂的混合溶液滴加入反应容器中，混合溶液中氢氧化钠与氧化剂质量比为1：0.5-9.5，直至氮化镓全部溶解；最后将反应液通过电积，回收金属镓。金属镓回收率为95％以上。氧化剂为过氧化氢或者过氧化钠。

本专利方法与现有技术相比具有的有益效果是：本发明中混合碱液与氮化镓料反应速度快，反应彻底，反应过程中无有毒废气排出，产出的反应液，经过电积法回收金属镓，回收率在95％以上，易于工业化生产。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明再作进一步详细的说明。

实施例1：一种从氮化镓废料中回收金属镓的方法，将500g氮化镓置于反 应容器中，然后将氢氧化钠与过氧化氢的混合溶液滴加入反应容器中，混合溶液中氢氧化钠与过氧化氢质量比1:1.5，直至氮化镓全部溶解；最后将反应液通过电积，回收金属镓392g。

实施例2：将1000g氮化镓置于反应容器中，然后将氢氧化钠与过氧化氢的混合溶液滴加入反应容器中，混合溶液中氢氧化钠与过氧化氢质量比1:4.5，加大了过氧化氢的比例后，反应速度加快，直至氮化镓全部溶解；最后将反应液通过电积，回收金属镓793g。

实施例3：将1000g氮化镓置于反应容器中，然后将氢氧化钠与过氧化钠的混合溶液滴加入反应容器中，混合溶液中氢氧化钠与过氧化钠质量比1:0.5，直至氮化镓全部溶解；最后将反应液通过电积，回收金属镓801g。

实施例4：将1000g氮化镓置于反应容器中，然后将氢氧化钠与过氧化氢的混合溶液滴加入反应容器中，混合溶液中氢氧化钠与过氧化氢体积比为1:9.5，反应速度快，直至氮化镓全部溶解；最后将反应液通过电积，回收金属镓805g。

除上述实施例外，本发明还可以有其他实施方式，凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本发明要求的保护范围之内。