[发明专利]液滴检查装置和液滴检查方法

权利要求书

1.一种液滴检查装置，其用于检查排出到被排出体的液滴，所述液滴检查装置的特征在于，包括：

将紫外线照射在存在所述液滴的所述被排出体上的照射区域的照射部；

对所述液滴或所述被排出体发光的所述照射区域进行拍摄的多个拍摄部；和

基于由所述多个拍摄部拍摄的拍摄图像，计测所述液滴的大小和所述被排出体上的所述液滴的位置的计测部，

所述液滴检查装置设置在以喷墨方式对所述被排出体排出所述液滴的设置有多个液滴排出头的液滴排出装置的内部，

所述被排出体上的照射区域中所含的液滴是随时间干燥而发生大小变化的液滴，

每当所述液滴从所述液滴排出装置所设置的多个液滴排出口以存在时间差的方式被排出到所述被排出体时，所述多个拍摄部对刚被排出到所述被排出体上的各液滴进行拍摄。

2.如权利要求1所述的液滴检查装置，其特征在于，还包括：

紫外线屏蔽滤光器，其设置在所述拍摄部的光轴上，用于屏蔽在所述被排出体上反射的紫外线。

3.如权利要求1或2所述的液滴检查装置，其特征在于：

所述拍摄部配置成该拍摄部的光轴与所述被排出体的主面垂直，

所述照射部配置成从斜上方对所述液滴照射紫外线。

4.如权利要求1或2所述的液滴检查装置，其特征在于：

所述拍摄部配置成该拍摄部的光轴与所述被排出体的主面垂直，

所述照射部配置成从所述液滴的下方照射紫外线。

5.如权利要求1或2所述的液滴检查装置，其特征在于，还包括：

用于使来自所述照射部的紫外线的光路朝向所述照射区域的光路变更部。

6.如权利要求1或2所述的液滴检查装置，其特征在于：

所述液滴是用于有机EL层的有机材料。

7.一种液滴检查方法，用于检查排出到被排出体的液滴，所述液滴检查方法的特征在于：

从照射部将紫外线照射在存在所述液滴的所述被排出体上的照射区域，使该照射区域中的所述液滴或所述被排出体发光，

由多个拍摄部对所述照射区域进行拍摄，

基于由所述多个拍摄部拍摄的拍摄图像，计测所述液滴的大小和所述被排出体上的所述液滴的位置，

所述液滴的检查在以喷墨方式对所述被排出体排出所述液滴的设置有多个液滴排出头的液滴排出装置的内部进行，

所述被排出体上的照射区域中所含的液滴是随时间干燥而发生大小变化的液滴，

每当所述液滴从设置于所述液滴排出装置中的多个液滴排出口以存在时间差的方式被排出到所述被排出体时，使用所述多个拍摄部对刚被排出到所述被排出体上的各液滴进行拍摄。

8.如权利要求7所述的液滴检查方法，其特征在于：

当由所述拍摄部拍摄所述被排出体时，通过设置在该拍摄部的光轴上的紫外线屏蔽滤光器，屏蔽在所述被排出体上反射的紫外线。

9.如权利要求7或8所述的液滴检查方法，其特征在于：

所述液滴是用于有机EL层的有机材料。