[发明专利]一种有毒有害气体的分析系统及使用方法

说明书

技术领域

本发明涉及气体检测领域，具体为一种有毒有害气体的分析系统及使用方 法。

背景技术

在气体生产的过程中，为了保证产品的质量(如纯净度、是否存在有害杂 质等)，需要在出厂前对相应的气体产品进行检测分析。在检测的过程中，有 可能被检的气体为有毒、易燃易爆气体，例如硅烷、磷烷、锗烷、二氧化硫等 等，而当遇到需要对这些气体进行检测时，需要非常谨慎，稍有泄露就会对周 边的人畜、环境造成危害。

目前现有技术的检测系统，仅为三通阀对样品气体(待测气体)、清洗气体 (一般为氦气，用于每次开始检测前对管路进行吹扫)和检测仪器进行连通， 因为每次在测试完毕之后拆卸样品气体时，管道内会残留较多的样品气体，为 了避免这些残留的样品气体对操作人员产生危害，因此，管路系统会设置在通 风气柜内，通风气柜的出风口连通尾气处理装置。

但是如此一来，会产生如下问题：1.通风气柜的费用较高，同时对使用场 地有一定要求；2.采用氦气直接吹扫置换，导致氦气消耗较多，成本较高，因 为氦气为稀有气体，价格非常昂贵，此外，也会存在样品在管道残留的危险。

发明内容

本发明的目的在于解决上述问题，提出一种有毒有害气体的分析系统，以 解决样品气体的泄漏，以及减少氦气的使用量。

本发明也提出一种有毒有害气体的分析系统的使用方法，使得操作简单容 易，而且检测准确度高。

本发明的有毒有害气体的分析系统，包括抽真空部、样品气进气部和辅助 气体进气部；所述样品气体进气部B包括样品接气管、样品送气管、接气阀门和 减压器，所述接气阀门设置于所述样品接气管的一端，所述样品接气管的另一 端连通所述样品送气管的一端，所述样品送气管的另一端设置有减压器；所述 辅助气体进气部包括清洗气接气管、标准气接气管、混合输气管、放空阀门、 所述接气阀门和控制阀门，所述接气阀门设置于所述标准气接气管的一端，所 述标准气接气管的另一端连通所述混合输气管，清洗气接气管的一端通过所述 控制阀门连通所述混合输气管，所述混合输气管的中部连通放空阀门的一端， 所述混合输气管的另一端连通所述样品送气管的另一端；所述抽真空部连通所 述放空阀门的另一端。

优选的，所述抽真空部包括真空发生器，所述真空发生器的负压接口连通 所述空阀门的另一端。

优选的，所述所述标准气接气管的另一端通过所述控制阀门连通所述混合 输气管；所述样品接气管的另一端通过所述控制阀门连通所述样品送气管。

优选的，所述控制阀门为截止阀，所述接气阀门为针型阀，所述放空阀门 为截止阀。

优选的，所述真空发生器的正压气体为氮气。

优选的，还设置有单向阀，所述单向阀设置于所述混合输气管的进气端的 近端部。

优选的，还设置有压力表，所述压力表设置于所述样品送气管的另一端。

优选的，所述样品送气管和所述混合输气管为1/8英寸的316不锈钢管。

本发明的有毒有害气体的分析系统的使用方法，包括以下步骤：

步骤1：减压器连通检测设备；

步骤2：管路吹扫，关闭所述放空阀门和所述接气阀门，氦气通过清洗气接 气管进入气路进行置换吹扫，关闭氦气接入的控制阀门，打开放空阀门对管路 进行抽真空；

步骤3：标准气体接入，关闭放空阀门，打开标准气接气管的接气阀门；

步骤4：管路吹扫，关闭所述放空阀门和所述接气阀门，氦气通过清洗气接 气管进入气路进行置换吹扫，关闭氦气接入的控制阀门，打开放空阀门对管路 进行抽真空；

步骤5：样品气体接入，关闭放空阀门，打开样品接气管的接气阀门；

步骤6：管路清洁，关闭所述放空阀门和所述接气阀门，氦气通过清洗气接 气管进入气路进行置换吹扫，关闭氦气接入的控制阀门，打开放空阀门对管路 进行抽真空。

优选的，所述步骤2和步骤4分别循环进行3-6次后，再进行下一个步骤。

本发明的有毒有害气体的分析系统，结构简单可靠，方便维护，而且制造 成本低，适合大规模工业化引用；本发明的有毒有害气体的分析系统的使用方 法，容易操作，步骤简单。

附图说明

附图对本发明做进一步说明，但附图中的内容不构成对本发明的任何限 制。

图1是本发明的其中一个实施例的示意图；