[发明专利]水热法氧化锌单晶材料合成装置及合成方法

说明书

技术领域

本发明涉及水热法氧化锌单晶材料合成装置及合成方法。

背景技术

人工合成氧化锌晶体材料是在一定温度和压力下通过复杂的物理和化学反应将化合物结晶出来，形成单晶或规则多晶的过程。单晶氧化锌对于微电子、集成电路、光伏、激光设备等产业的发展有着决定性作用。合成过程需要精确的控制体系的温度、压力、浓度、成分变化过程等因素。目前使用的水热法合成技术中，主要集中在控制均一液相中的温度、pH值等技术使晶体析出，由于水热法通常在较高温度和较大压力下密闭反应，所以均一液相中的反应条件改变很难实现，而且这种方法只适合于制备微纳米尺寸的单晶，很难合成大尺寸单晶。在我国激光设备、微电子设备对大尺寸单晶需求量日益增长的情况下，这种合成方法已经无法适应当前科学技术的发展，对合成晶体方面的技术革新已迫在眉睫。

发明内容

针对上述情况，为克服现有技术之缺陷，本发明之目的就是提供一种水热法氧化锌单晶材料合成装置及合成方法，可有效解决用水热法合成单晶过程中系统因素调节困难，无法合成出大块体单晶的问题。

本发明解决的技术方案是，一种水热法氧化锌单晶材料合成装置，包括调节罐1、连通管2和反应罐3，调节罐的内腔经连通管与反应罐的内腔相连通，调节罐1与反应罐3的结构相同，均为密闭的中空结构，二者的内腔均设置由耐热耐化学腐蚀材料制成的罐体内衬6，连通管2的内侧设置有由耐热耐化学腐蚀材料制成的管体内衬13。

所述的连通管2包括与调节罐相连的第一管体2a、与反应罐3相连的第二管体2b和连接第一管体、第二管体的连接套21，第一管体和第二管体相连的一端外壁上均设置有丝套堵头16，丝套堵头16内侧在第一管体和第二管体上均设置有沿各自管体滑动的丝套17，丝套外壁上有第一外螺纹18，连接套的内壁上有与第一外螺纹相对应的第一内螺纹22，第一管体和第二管体通过第一外螺纹、第一内螺纹与连接管旋装在一起，连接套内在第一管体和第二管体的端面之间夹装有流量控制垫片23，流量控制垫片23中心有通气孔14。

所述的调节罐1与反应罐3的结构相同，均包括防爆金属材料制成的外壳5、罐体内衬6和盖套4，外壳和内衬均为上部开口的中空结构，内衬套装在外壳内，内衬上端外壁上设置有压紧外壳口部上沿的密封凸起15，盖套4为上下开口的中空结构，盖套4内壁上设置有第二内螺纹9，外壳外壁上设置有与第二内螺纹相对应的第二外螺纹10，盖套通过第二内螺纹与第二外螺纹旋装在外壳上部，第一管体与调节罐相连的一端、第二管体与反应罐相连的一端均设置有向外凸起的密封盖11，密封盖置于盖套下与密封凸起之间，通过旋紧盖套进行密封连接，构成整体的密封结构。

一种水热法氧化锌单晶材料合成方法，包括以下步骤：

A、安装合成装置

合成装置包括调节罐1、连通管2和反应罐3，调节罐的内腔经连通管与反应罐的内腔相连通，调节罐1与反应罐3的结构相同，均为密闭的中空结构，二者的内腔均设置由耐热耐化学腐蚀材料制成的罐体内衬6，连通管2的内侧设置有由耐热耐化学腐蚀材料制成的管体内衬13；

所述的连通管2包括与调节罐相连的第一管体2a、与反应罐3相连的第二管体2b和连接第一管体、第二管体的连接套21，第一管体和第二管体相连的一端外壁上均设置有丝套堵头16，丝套堵头16内侧在第一管体和第二管体上均设置有沿各自管体滑动的丝套17，丝套外壁上有第一外螺纹18，连接套的内壁上有与第一外螺纹相对应的第一内螺纹22，第一管体和第二管体通过第一外螺纹、第一内螺纹与连接管旋装在一起，连接套内在第一管体和第二管体的端面之间夹装有流量控制垫片23，流量控制垫片23中心有通气孔14；

所述的调节罐1与反应罐3的结构相同，均包括防爆金属材料制成的外壳5、罐体内衬6和盖套4，外壳和内衬均为上部开口的中空结构，内衬套装在外壳内，内衬上端外壁上设置有压紧外壳口部上沿的密封凸起15，盖套4为上下开口的中空结构，盖套4内壁上设置有第二内螺纹9，外壳外壁上设置有与第二内螺纹相对应的第二外螺纹10，盖套通过第二内螺纹与第二外螺纹旋装在外壳上部，第一管体与调节罐相连的一端、第二管体与反应罐相连的一端均设置有向外凸起的密封盖11，密封盖置于盖套下与密封凸起之间，通过旋紧盖套进行密封连接，构成整体的密封结构；