[发明专利]带hopping跳跃成像模式的电化学成像测量方法在审
| 申请号： | 201610139699.9 | 申请日： | 2016-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN107192855A | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 牛利;韩冬雪;王伟;包宇 | 申请（专利权）人： | 江苏卓芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q30/02 | 分类号： | G01Q30/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226109 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | hopping 跳跃 成像 模式 电化学 测量方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种带hopping跳跃成像模式的电化学成像测量方法，其原理图如图2所示。
2.其中探针距离样品基底的高度H需要预先设定。
3.实验时探针从距离样品基底H高度的位置开始向下步进，当检测到的电流达到电流阈值I时探针停止移动，记录此时探针的移动距离D，用H-D作为这个点的检测值，然后自动返回到H高度上继续下一个点的检测。
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