[发明专利]消色谱效应的超高真空腔对高压气体采样装置

权利要求书

1.一种消色谱效应的超高真空腔对高压气体采样装置，其特征在于，包括用于在高压环境下采样的独立安装的不锈钢毛细管(2)、独立的微分泵组及与超高真空腔直接相连的真空泵组，微分泵组及真空泵组具有完全隔断独立的抽气通道，微分泵组及真空泵组通过各自的抽气通道将气体自不锈钢毛细管(2)抽出，被抽出不锈钢毛细管(2)的气体一部分流入超高真空腔，另一部分流入微分泵组，由针阀(3)或高精度流量阀(4)调制输入超高真空腔与输入微分泵组的气体流量的配比。

2.如权利要求1所述的一种消色谱效应的超高真空腔对高压气体采样装置，其特征在于，所述抽气通道采用与所述不锈钢毛细管(2)相兼容的相应系列的标准管道。

3.如权利要求1所述的一种消色谱效应的超高真空腔对高压气体采样装置，其特征在于，所述不锈钢毛细管(2)采用经过缩径处理的进口端。

4.如权利要求1所述的一种消色谱效应的超高真空腔对高压气体采样装置，其特征在于，所述微分泵组或者采用低压极限在10^-3torr的机械泵，或者采用低配置分子泵组。