[发明专利]有机氨基乙硅烷前体和包含该前体的薄膜沉积的方法有效
| 申请号： | 201610141031.8 | 申请日： | 2013-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN105801612B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 萧满超;雷新建;D·P·斯彭斯;H·钱德拉;韩冰;M·L·奥内尔;S·G·玛约加;A·玛利卡尔朱南 | 申请（专利权）人： | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
| 主分类号： | C07F7/10 | 分类号： | C07F7/10;C23C16/34;C23C16/36;C23C16/40;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华;徐一琨 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 氨基 硅烷 包含 薄膜 沉积 方法 | ||
【说明书】：
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