[发明专利]可原位进行X射线光电子能谱分析的微动磨损试验装置

权利要求书

1.一种可原位进行X射线光电子能谱分析的微动磨损试验装置，包括X射线光电子能谱分析仪、微动磨损试验机、微动磨损试验机上的施力杆(9)、三维力传感器(7)、上夹具(6)、下夹具(29)和下夹具固定机构，其特征在于：

所述的施力杆(9)的中下部及三维力传感器(7)、上夹具(6)、下夹具(29)和下夹具固定机构均密封包裹在真空腔(3)内，真空腔(3)的底部安装在箱型的基座(1)的顶部；

所述的真空腔(3)上安装有真空计(28)，真空腔(3)的左部设有水平的连接管(3a)，连接管(3a)通过法兰与X射线光电子能谱分析仪的真空进样腔连接；所述的真空腔(3)还通过后部的接口法兰(3b)与真空泵连接；

所述的真空腔(3)的右部与磁力杆(13)密封连接；磁力杆(13)的内腔套有方形的推杆(15)，磁力杆(13)的外周面套合带磁性的磁力环(14)；推杆(15)的右部带磁性，推杆(15)伸入真空腔(3)的左端部安装有可与微动磨损试验机的下夹具(29)卡合的卡合装置。

2.如权利要求1所述的可原位进行X射线光电子能谱分析的微动磨损试验装置，其特征在于，所述的卡合装置的具体结构是：

推杆(15)的左端部固定有水平的、矩形的定位框(10)，定位框(10)的左杆中部设有与下夹具(29)的定位孔(29a)匹配的定位柱(10a)；推杆(15)的内腔内套圆轴(12)；圆轴(12)的右部带磁性、左端固定连接偏心轮(11)；偏心轮(11)位于定位框(10)内，推杆(15)的左端底部还连有水平的铜片(16)，铜片(16)的左端部位于定位柱(10a)的下方，且铜片(16)的左端部向上向右弯折形成卡钩(16a)，所述的卡钩(16a)与下夹具(29)底部的卡槽(29b)匹配。

3.如权利要求1所述的可原位进行X射线光电子能谱分析的微动磨损试验装置，其特征在于，所述的施力杆(9)的中下部密封包裹在真空腔(3)内的具体结构是：

所述的施力杆(9)的上部穿出真空腔(3)的上连接口，施力杆(9)穿出真空腔(3)的部分外套波纹管(26)；波纹管(26)的上端与施力杆(9)密封连接，波纹管(26)的下端与真空腔(3)的上连接口密封连接。

4.如权利要求1所述的可原位进行X射线光电子能谱分析的微动磨损试验装置，其特征在于，所述的下夹具固定机构的组成是：

底座(18)固定于真空腔(3)的支架台(2)上，底座(18)上表面的前部安装压电陶瓷驱动器(4)；压电陶瓷驱动器(4)的后端与夹座(20)固定连接；夹座(20)底部通过直线滑轨(19)与底座(18)连接，夹座(20)的前部设有向上凸起的前挡壁(20a)；活动后挡壁(20b)底部的横向滑块与夹座(20)的中部的横向滑槽配合，夹座(20)的后部固定有支撑块(21)；支撑块(21)的上部与锁紧块(23)的前部铰接；锁紧块(23)的前端螺纹连接锁紧螺钉(24)；锁紧螺钉(24)的端头抵住活动后挡壁(20b)的后面，且锁紧螺钉(24)的端头为半球形；锁紧块(23)的后端的铰轴(22)与拉杆(25)下部的连接长槽配合；拉杆(25)上端与施力杆(9)下部铰接；前挡壁(20a)与活动后挡壁(20b)之间放置两个缺口相对的L型垫块(17)；两个L型垫块(17)的缺口之间放置下夹具(29)。