[发明专利]一种磁光记录介质镀膜用稀土过渡合金旋转靶材的制备方法及其制备靶材有效
| 申请号： | 201610144237.6 | 申请日： | 2016-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN105803406B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 徐从康 | 申请（专利权）人： | 无锡舒玛天科新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;G11B5/84 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 214192 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 记录 介质 镀膜 稀土 过渡 合金 旋转 制备 方法 及其 | ||
【说明书】：
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