[发明专利]一种平板显示器触摸屏用铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法及其制备靶材

权利要求书

1.一种平板显示器触摸屏用铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于步骤如下：

(1) 选择铝粉和稀土粉末为原料混合，加工制备得到铝稀土粉末；

(2) 将混合好的铝稀土粉末装入模具放入冷等静压机，冷等静压后得到生坯靶管；所述冷等静压的压力为 150-250Mpa，按每分钟10Mpa 进行增压，待到150-250Mpa后保压 5-25 分钟，按照每分钟 10Mpa 进行泄压；

(3) 将经过冷等静压成型后的生胚靶管进行真空烧结；所述真空烧结的温度从室温开始，按照每小时上升 60℃进行升温，在520～560℃保温 2-3 小时，然后自然降温；

(4) 将步骤(3)真空烧结得到的靶管放入热等静压机进行压制；热等静压的压力为150-200Mpa ，温度为500-550℃，保温时间1-2小时；

(5) 将步骤(4) 热等静压得到的靶管进行机械加工；

(6) 将步骤(5) 机械加工得到的靶管进行铟绑定。

2.根据权利要求1所述的铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于步骤(1)所述铝粉纯度≥99.99%。

3.根据权利要求1或2所述的铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于步骤(1) 所述加工制备包括在300～600℃温度下真空烧结5～10h，球磨4～8h，过筛得到粒度为150～800目的铝稀土粉末。

4.根据权利要求1所述的铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于步骤(5)所述机械加工包括将步骤(4)得到的靶管放在锯床上锯平一头，将锯好的靶管放在内圆磨床上打磨，然后将靶管的两个端面放在平面磨床上磨平，再在外圆磨床上打磨，拿下靶管进行清洗，清洗干净后进行绑定。

5.根据权利要求1所述的铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于步骤(6)所述绑定包括先用高温胶带把步骤(5)得到的靶管外圆封好；用超声波将铟涂抹在靶管内圆壁上，将不锈钢管外圆上也用超声波把铟涂在上面并竖着固定在绑定架上，将一节靶管从上往下放到不锈钢管底端，将加热管放入不锈钢管内圆中靶管的位置进行加热，加热的温度是180-200℃，当铟熔化时，就可以往不锈钢管和靶管的空隙中加铟直到加满为止，进行降温；在绑定第二个靶管时在第一个靶管上面放一个硅胶以保证靶管和靶管之间的间隙小于0.5毫米。

6.根据权利要求1所述的铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于步骤(1)中加入镍粉，将铝粉，镍粉和稀土粉机械混合。

7.一种根据权利要求1制备方法所得的铝稀土合金旋转溅射靶材，其特征在于主要原料为铝粉和稀土粉末，靶材相对密度≥99.9%，纯度≥99.99%，晶粒尺寸小于30微米，尺寸达到4000毫米。