[发明专利]一种新型高纯石英坩埚及其制备方法在审
| 申请号： | 201610146253.9 | 申请日： | 2016-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN105648528A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 张福军;陈加伟 | 申请（专利权）人： | 常熟华融太阳能新型材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 高玲玲 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 高纯 石英 坩埚 及其 制备 方法 | ||
1.一种新型高纯石英坩埚，其特征在于包括：坩埚本体和坩埚内表面的高纯石英陶瓷涂层。
2.根据权利要求1所述的高纯石英坩埚，其特征在于：所述高纯石英陶瓷涂层涂敷于坩埚 内表面的底部或侧部，或者同时涂敷于底部和侧部。
3.根据权利要求2所述高纯石英坩埚，其特征在于：所述高纯石英陶瓷涂层厚度为100～ 2000μm，表面粗糙度为2～20μm。
4.根据权利要求3所述高纯石英坩埚，其特征在于：所述高纯石英陶瓷涂层的组成包括石 英砂、硅溶胶、石英料浆和有机粘结剂。
5.一种根据权利要求1至4任一所述新型高纯石英坩埚的制备方法，其特征在于包括以下 步骤：在坩埚内表面刷涂、辊涂、浸涂或刮涂石英砂、硅溶胶、石英料浆和有机粘结剂的混 合物，再经过低温干燥、高温烧结得到新型高纯石英坩埚。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：所述石英砂、硅溶胶、石英料浆和有机 粘结剂的质量比为1：0～5：0.2～10：0～0.5，其中硅溶胶中SiO2的固含量在15％～30％； 石英料浆的固含量在40％～80％；有机粘结剂的固含量在5％～25％。
7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：所述低温干燥的温度范围为40～300℃。
8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：所述高温烧结的温度范围为1100～ 1200℃。
9.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：在所述低温干燥和高温烧结过程中，高 纯石英陶瓷涂层表面始终覆盖着高纯石英砂、石英板、碳化硅板或氮化硅板。
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