[发明专利]太阳能电池及其制造方法在审
申请号: | 201610146499.6 | 申请日: | 2016-03-15 |
公开(公告)号: | CN106887473A | 公开(公告)日: | 2017-06-23 |
发明(设计)人: | 刘书岩;王建峻 | 申请(专利权)人: | 茂迪股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 | 代理人: | 马廷昭 |
地址: | 中国台湾新北市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 及其 制造 方法 | ||
1.一种太阳能电池,其特征在于,其包含:
一基板,具有相对应的一第一表面与一第二表面;
一第一掺杂层,设置于该第一表面上,并包含一低掺杂区及一高掺杂区;
一第二掺杂层,设置于该第二表面上,并与该第一掺杂层的掺杂类型不同;
一第一钝化层,设置于该第一掺杂层上,并具有一第一钝化层开口,以裸露出该高掺杂区的至少一部分区域;以及
一合金层,设置于裸露的该高掺杂区上,其中该高掺杂区的宽度大于该合金层的宽度,且该高掺杂区的深度大于该低掺杂区的深度。
2.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,该高掺杂区的宽度小于该合金层宽度的四倍。
3.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,该高掺杂区的深度小于该低掺杂区深度的三倍。
4.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,更包含一第二钝化层,其中该第二钝化层设置于该第二掺杂层上。
5.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,更包含依序由一种子层、一导电层与一保护层叠置在该合金层上的一传导层,其中该导电层的宽度不小于该种子层的宽度。
6.如权利要求5所述的太阳能电池,其特征在于,该合金层为一硅化镍层,以及该传导层由镍、铜、锡或银所组成。
7.一种太阳能电池制造方法,其特征在于,包含下列步骤:
提供一基板,具有相对应的一第一表面及一第二表面;
于该第一表面上形成一第一掺杂层,包含一低掺杂区及一高掺杂区,其中该高掺杂区的深度大于该低掺杂区的深度;
于该第二表面上形成一第二掺杂层,其中该第二掺杂层与该第一掺杂层的掺杂类型不同;
于该第一掺杂层上形成一钝化层;
形成一钝化层开口,以裸露出该高掺杂区的至少一部分区域;
于该钝化层开口上形成一种子层;
经由退火工艺于裸露的该高掺杂区上形成一合金层,其中该高掺杂区的宽度大于该合金层的宽度;
于该种子层上形成一导电层;以及
于该导电层上形成一保护层。
8.如权利要求7所述的太阳能电池制造方法,其特征在于,形成该第一掺杂层的步骤包含:
利用一第一掺杂工艺,于该第一表面形成该低掺杂区;以及
利用一第二掺杂工艺,于该低掺杂区的部分区域形成该高掺杂区。
9.如权利要求8所述的太阳能电池制造方法,其特征在于,该第一掺杂工艺及第二掺杂工艺选自离子布植工艺、二次扩散工艺及掺杂胶网印工艺所构成的群组的其中至少一种。
10.如权利要求7所述的太阳能电池制造方法,其特征在于,该合金层为一硅化镍层、该种子层为镍、该导电层为铜以及该保护层为锡或银所组成。
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