[发明专利]涂布装置和涂布方法有效
申请号: | 201610148078.7 | 申请日: | 2016-03-15 |
公开(公告)号: | CN105983511B | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
发明(设计)人: | 谷野圣;谷尚树;岸谷征典;木田威 | 申请(专利权)人: | 东丽薄膜先端加工有限公司;东丽工程株式会社 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 浦彩华;姚开丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 方法 | ||
【说明书】:
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