[发明专利]导热装置与蒸镀坩埚

说明书

本发明提供一种导热装置与蒸镀坩埚，所述导热装置包括一导热筒与安装于该导热筒上的数个导热片而呈辐射状，或包括一辐射状的导热筒而呈辐射状，通过在蒸镀坩埚中放入上述导热装置，经由导热装置的传热路径，可以使坩埚壁上的热量均匀的传递至坩埚的内部及中心，有利于提高坩埚内部材料受热的均匀性，使得材料的蒸镀状态保持稳定，提高蒸镀效果；且该导热装置易加工，成本低，导热效果好，安装拆卸方便。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种导热装置与蒸镀坩埚。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示器，也称为有机电致发光显示器，是一种新兴的平板显示装置，由于其具有制备工艺简单、成本低、功耗低、发光亮度高、工作温度适应范围广、体积轻薄、响应速度快，而且易于实现彩色显示和大屏幕显示、易于实现和集成电路驱动器相匹配、易于实现柔性显示等优点，因而具有广阔的应用前景。目前实现量产的OLED制造技术均是采用真空蒸镀的方法制备OLED材料薄膜。

真空蒸镀时，将OLED材料放置于坩埚中，通过加热将材料汽化，汽化分子从坩埚盖的喷口飞出沉积到基板上形成固态薄膜。OLED材料一般分为升华型和熔融型，升华型材料受热后直接从固体粉末态升华变为气态，熔融型材料受热后先从固体粉末态变为熔融态，再蒸发变为气态。不论是升华型还是熔融型，OLED有机材料的导热性通常都很差，再加上处于真空状态，没有气体分子作为导热介质，热量由坩埚壁传输到坩埚中部通常都很慢，这就在坩埚中造成较大的温度差，即坩埚内部温度场不均匀。

对于升华型材料，温度场不均匀容易造成如图1所示的情形：接近坩埚壁100的材料200所处的温度高，升华快，远离坩埚壁100的材料200所处的温度低，升华慢，升华一定时间后材料200与坩埚壁100之间形成空隙300，空隙300形成后，材料200需要加热到更高的温度才可以达到升华的速率，这对OLED的性能是不利的。

对于熔融型材料，温度场不均匀容易造成如图2所示的情形：接近坩埚壁100的材料200先达到熔融所需温度，变为熔融态，远离坩埚壁100的材料200还处于固体粉末态，熔融态的材料200由于有一定的流动性，将粉末态的材料200包裹在其中，使得材料200整体处于“半熔融态”，半熔融态的材料200被蒸镀到基板上其成膜均匀性不好，对OLED性能不利。

发明内容

本发明的目的在于提供一种导热装置，放置于蒸镀坩埚内部使用，可以将坩埚壁上的热量均匀的传导至坩埚的内部及中心，使得坩埚内部的材料受热均匀。

本发明的目的还在于提供一种蒸镀坩埚，可以使坩埚壁上的热量均匀的传递至坩埚的内部及中心，提高坩埚内部材料受热的均匀性。

为实现上述目的，本发明提供一种导热装置，包括一导热筒与安装于该导热筒上的数个导热片，其中，所述导热筒的侧壁与导热片上均设有数个通孔。

所述导热筒的侧壁上设有位于数个通孔之间的数个条形凹槽，所述数个条形凹槽的延伸方向均平行于所述导热筒的延伸方向，所述数个导热片分别卡合于该数个条形凹槽中。

所述导热筒的横截面为圆形或轴向对称的凸多边形。

所述导热筒与导热片的材质为金属。

本发明还提供一种导热装置，包括一导热筒，所述导热筒的横截面为具有三个角以上的星形，该星形的每个角均由两个导热板围成，从而所述导热筒由6个以上相互连接的导热板组成，其中，每个导热板上均设有数个通孔。

本发明还提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、放置于坩埚本体内部的导热装置、及设于所述坩埚本体上方的坩埚盖，所述导热装置包括一导热筒与安装于该导热筒上的数个导热片，其中，所述导热筒的侧壁与导热片上均设有数个通孔。