[发明专利]复合结构双层金属光栅偏振分束器

权利要求书

1.一种复合结构金属光栅偏振分束器，其特征在于，每个光栅周期内具有至少两个及以上的多个狭缝，所述狭缝之间的间隔含有金属材料，所述的多个狭缝及其间隔构成波导结构，所述的波导结构满足入射横电场电磁波在波导结构内模式截止，所述光栅的周期满足在一定入射角度下入射横磁场电磁波在光栅的反射面或者透射面的衍射角小于90度；工作波长的至少-1级衍射光沿着平行于光栅面的波数小于光在空气中或者和光栅直接接触的介质中的波数；每个狭缝的宽度小于入射的横电场偏振光最低阶模式所需宽度；金属的高度大于TE光在狭缝内部的模式渗透深度；

所述多个狭缝的宽度、深度和折射率能够满足入射横磁场电磁波产生法布里-珀罗共振反射相消，使得入射的横磁场电磁波反射最小；

对应横磁场电磁波入射面和横电场电磁波入射面的金属层厚度大于工作波段的趋附深度。

2.根据权利要求1所述的复合结构金属光栅偏振分束器，其特征在于，所述的光栅包括衬底、衬底之上的金属薄膜和金属薄膜内嵌有的至少两个狭缝。

3.根据权利要求1所述的复合结构金属光栅偏振分束器，其特征在于，所述的光栅包括衬底、介质薄膜、介质薄膜内嵌至少两个以上的狭缝、介质薄膜顶部以及狭缝的侧壁和底部都覆盖有金属材料。

4.根据权利要求1所述的复合结构金属光栅偏振分束器，其特征在于，所述的光栅包括衬底、介质薄膜、介质膜内嵌至少两个以上的狭缝、介质薄膜顶部以及狭缝的底部都覆盖有金属材料。