[发明专利]抛光头调平装置及方法

权利要求书

1.抛光头调平装置，其特征在于，包括花键轴、花键套、轴承套筒、轴承端盖、轴承预紧环、轴承、调节平板、基板和至少三个调平螺钉组；

所述调节平板置于所述基板上表面；

所述轴承端盖与所述轴承预紧环配合，对所述轴承的外圈进行预紧；

所述轴承设于所述花键套与所述轴承套筒之间；

所述花键轴装于所述花键套内，所述花键轴的底端用于安装抛光头；

各所述调平螺钉组连接在所述调节平板上。

2.如权利要求1所述的抛光头调平装置，其特征在于，各所述调平螺钉组包括调平螺母和紧定螺钉，所述紧定螺钉用于连接所述调节平板与所述基板，使所述调节平板在所述基板的作用下进行水平运动，通过所述调平螺母的旋入或旋出对所述调节平板进行调平。

3.如权利要求2所述的抛光头调平装置，其特征在于，各所述调平螺钉组还包括防松法兰和防松螺钉，所述防松法兰通过防松螺钉固定在所述调节平板与所述调平螺母之间，所述防松法兰用于消除所述调平螺母与所述调节平板之间的螺纹间隙。

4.如权利要求1所述的抛光头调平装置，其特征在于，所述轴承端盖与所述调节平板之间为螺纹连接。

5.如权利要求1所述的抛光头调平装置，其特征在于，所述调节平板的轮廓形状为正方形，所述调平螺钉组为三个，其中第一调平螺钉组和第二调平螺钉组分设于所述调节平板第一侧的两端，第三调平螺钉组设于所述调节平板第一侧的相对侧的中部。

6.利用权利要求1-5任意一项所述的抛光头调平装置实现抛光头调平方法，其特征在于，所述方法包括：

在调节平板表面分设至少三个调平螺钉组，通过调整各所述调平螺钉组中的调平螺母的旋入或旋出对所述调节平板进行调平。

7.如权利要求6所述的抛光头调平方法，其特征在于，还在所述调节平板与所述调平螺母之间设置防松法兰，所述防松法兰用于消除所述调平螺母与所述调节平板之间的螺纹间隙。