[发明专利]玻璃晶圆镀膜的方法

权利要求书

1.一种玻璃晶圆镀膜的方法，其特征在于：主要包括以下几个步骤：

1]玻璃晶圆清洗

2]玻璃晶圆干燥

3]玻璃晶圆镀膜

将干燥后的玻璃晶圆送入镀膜室，固定在旋涂机的镀膜盘上，镀膜室中通入挥发蒸汽，当整个镀膜室中挥发蒸汽达到饱和时，将旋涂机转速调至500rpm，向镀膜盘中央滴入镀膜液，然后逐渐将旋涂机转速提高至2000-5000rpm，镀膜液在玻璃晶圆上均匀铺展开后完成初步镀膜；其中，镀膜液的溶剂与挥发蒸汽相同；

步骤3]中的挥发蒸汽是异丙醇蒸汽、乙醇蒸汽或丙酮蒸汽；

步骤3]中的镀膜液是纳米二氧化硅悬浮液；

所述步骤3]中镀膜室中挥发蒸汽的压强是0.1-0.5MPa；

4]低温固化

将完成初步镀膜的玻璃晶圆送入恒温箱进行固化，固化温度在200-300℃，固化时间为5-8分钟；

5]高温固化

将完成步骤4]处理的玻璃晶圆冷却至室温后进行高温固化，使得玻璃表面形成一层减反射增透薄膜；

步骤5]中高温固化时，温度控制在650℃，固化时间为2-3分钟。

2.根据权利要求1所述的玻璃晶圆镀膜的方法，其特征在于：

所述步骤3]中镀膜室中挥发蒸汽的压强是0.1MPa、0.2MPa或0.5MPa。

3.根据权利要求2所述的玻璃晶圆镀膜的方法，其特征在于：

所述步骤1]采用清洗液对玻璃晶圆进行清洗；所述清洗液是18MΩ超纯水。

4.根据权利要求3所述的玻璃晶圆镀膜的方法，其特征在于：

所述步骤2]玻璃晶圆干燥的具体方式是：将完成清洗的玻璃晶圆放入干燥箱中，通过氮气吹扫的方式将玻璃晶圆表面残留的清洗液吹干。

5.一种玻璃晶圆镀膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1]玻璃晶圆清洗；

2]玻璃晶圆干燥；

3]玻璃晶圆镀膜；

将干燥后的玻璃晶圆送入镀膜室，镀膜室中通入挥发蒸汽，当整个镀膜室中挥发蒸汽达到0.1-0.5MPa时，采用浸涂法对干燥后的玻璃晶圆进行镀膜，得到双面镀膜的玻璃晶圆，完成初步镀膜；

步骤3]中的挥发蒸汽是异丙醇蒸汽、乙醇蒸汽或丙酮蒸汽；

步骤3]中的镀膜液是纳米二氧化硅悬浮液；

所述步骤3]中镀膜室中挥发蒸汽的压强是0.1-0.5MPa；

4]低温固化；

将完成初步镀膜的玻璃晶圆送入恒温箱进行固化，固化温度在200-300℃，固化时间为5-8分钟；

5]高温固化；

将完成步骤4]处理的玻璃晶圆冷却至室温后进行高温固化，使得玻璃表面形成一层减反射增透薄膜；

步骤5]中高温固化时，温度控制在650℃，固化时间为2-3分钟。

6.根据权利要求5所述的玻璃晶圆镀膜的方法，其特征在于：

所述步骤3]中镀膜室中挥发蒸汽的压强是0.1MPa、0.2MPa或0.5MPa。

7.根据权利要求6所述的玻璃晶圆镀膜的方法，其特征在于：

所述步骤1]采用清洗液对玻璃晶圆进行清洗；所述清洗液是18MΩ超纯水。

8.根据权利要求7所述的玻璃晶圆镀膜的方法，其特征在于：

所述步骤2]玻璃晶圆干燥的具体方式是：将完成清洗的玻璃晶圆放入干燥箱中，通过氮气吹扫的方式将玻璃晶圆表面残留的清洗液吹干。