[发明专利]压电双晶片式惯性压电马达

权利要求书

1.压电双晶片式惯性压电马达，其特征在于包括基座、两个压电片和导轨，其中两个压 电片相互平行设置于基座和导轨之间，压电片的一端通过胶体垂直固定于基座上，压电片 的另一端通过胶体固定有导轨，该压电片为厚度方向或径向极化的压电片，导轨的凹槽方 向与压电片的极化方向一致。

2.根据权利要求1所述的压电双晶片式惯性压电马达，其特征在于：所述压电片与基座 和导轨的接触部位分别设有未涂电极部位。

3.压电双晶片式惯性压电马达，其特征在于包括基座、压电双晶片和导轨，其中压电双 晶片由两个平行设置的底片及设置于两底片之间的两个压电片构成，两个压电片通过胶体 垂直固定于两底片之间并且两个压电片相互平行，该压电片为厚度方向或径向极化的压电 片，压电双晶片一端的底片固定于基座上，压电双晶片另一端的底片上固定有导轨，该导轨 的凹槽方向与压电片的极化方向一致。

4.根据权利要求3所述的压电双晶片式惯性压电马达，其特征在于：所述压电片与两底 片的接触部位分别设有未涂电极部位。

5.根据权利要求3所述的压电双晶片式惯性压电马达，其特征在于：所述底片的材质为 蓝宝石、钨、钛、不锈钢、玻璃或铝镁合金。

6.根据权利要求1或3所述的压电双晶片式惯性压电马达，其特征在于：所述基座和导 轨的材质均为蓝宝石、钨、钛、陶瓷或不锈钢。

7.根据权利要求1或3所述的压电双晶片式惯性压电马达，其特征在于：所述胶体为环 氧树脂胶、丙烯酸酯胶、α-氰基丙烯酸乙酯胶或氯丁橡胶。

8.根据权利要求1或3所述的压电双晶片式惯性压电马达，其特征在于：所述压电马达 的驱动信号为不对称的周期性信号。

9.根据权利要求1或3所述的压电双晶片式惯性压电马达，其特征在于：所述压电马达 的驱动信号为不对称的锯齿波。