[发明专利]离子束装置、离子注入装置、离子束放出方法有效
| 申请号： | 201610155289.3 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN105990076B | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木德康;东明男 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J37/08;H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 闫小龙;陈岚 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子束 装置 离子 注入 放出 方法 | ||
【说明书】：
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