[发明专利]基板液处理装置以及基板液处理方法有效
| 申请号： | 201610156601.0 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN105983549B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 佐藤秀明 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇;张会华<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板液 处理 装置 以及 方法 | ||
【权利要求书】：
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