[发明专利]研磨装置及其控制方法、以及修整条件输出方法有效
| 申请号： | 201610156885.3 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN105983904B | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 篠崎弘行 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 梅高强;高永志 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 及其 控制 方法 以及 修整 条件 输出 | ||
【说明书】：
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