[发明专利]电镀装置中的电流密度的控制有效
| 申请号： | 201610156899.5 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN105986305B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 何志安;阿斯温·拉梅什;尚蒂纳特·古艾迪 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C25D17/12 | 分类号： | C25D17/12;C25D7/12;C25D3/38;H01L21/768;C25D21/12 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电镀 装置 中的 电流密度 控制 | ||
【权利要求书】：
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