[发明专利]温度可控的高温辐照靶室

权利要求书

1.一种温度可控的高温辐照靶室，包括：

真空腔室，所述真空腔室的腔室壁上设置有至少一个真空束流管道接口，以使离子束穿过真空束流管道接口照射至真空腔室的辐照样品中；

辐照支撑台，所述辐照支撑台安装在所述真空腔室中；

加热装置，所述加热装置安装在所述辐照支撑台上，所述加热装置承载辐照样品，并与辐照样品电绝缘地接触，从而以接触加热的方式将辐照样品加热至规定的温度；

温度测量装置，所述温度测量装置用于测量辐照样品的温度；以及

束流测量系统，所述束流测量系统用于测量靶室中央的辐照样品上的束流强度。

2.根据权利要求1所述的高温辐照靶室，其特征在于，所述加热装置包括绝缘加热片，所述加热装置通过绝缘加热片与辐照样品接触，从而进行接触加热。

3.根据权利要求2所述的高温辐照靶室，其特征在于，所述加热片为氮化硼-石墨加热片。

4.根据权利要求1所述的高温辐照靶室，其特征在于，所述加热装置的外侧设置有至少一个热辐射屏蔽层，使得辐照样品与周围热隔绝。

5.根据权利要求1所述的高温辐照靶室，其特征在于，所述真空腔室包括圆筒形的筒体，在所述筒体上还设有信号及电源输入输出接口、抽气接口。

6.根据权利要求1所述的高温辐照靶室，其特征在于，所述加热装置的数量是多个，并且都设置在辐照支撑台上。

7.根据权利要求6所述的高温辐照靶室，其特征在于，所述辐射支撑台被构造成转动和平移，以将被承载的加热装置以及辐照样品中的一个旋转和推入/退出靶室中央。

8.根据权利要求1所述的高温辐照靶室，其特征在于，所述至少一个真空束流管道接口分别与多个真空束流管道相连，所述多个真空束流管道设置成使得所述多个真空束流管道的轴线能够会聚于真空腔室中央处，从而能够照射辐照样品。

9.根据权利要求1所述的高温辐照靶室，其特征在于，所述真空束流管道接口的数量为三个，分别与三个真空束流管道相连，所述三个真空束流管道中分别载有重离子束、氢离子束和氦离子束。

10.根据权利要求1所述的高温辐照靶室，其特征在于，所述真空腔室的腔室壁上还设置有观察窗，以便能够观察到真空腔室内部的辐照样品。

11.根据权利要求1所述的高温辐照靶室，其特征在于，所述温度测量装置包括红外热像仪，所述红外热像仪设置在所述高温靶室外部，与所述观察窗相对，所述红外热像仪通过所述观察窗测量辐照样品的表面温度分布，并记录样品表面多个点的温度数据，从而实现对束流照射在辐照样品上的束斑的大小及位置漂移的实时监测。