[发明专利]产生掩膜图案的系统和方法以及曝光系统

权利要求书

1.一种用于产生掩膜图案的系统，包括：

掩膜图案提供设备，配置为通过有线或无线网络提供掩膜图案信号；

掩膜图案传送设备，配置为对所述掩膜图案提供设备提供的所述掩膜图案信号进行处理，以产生掩膜图案信息，并且通过射频标识“RFID”信号传送产生的掩膜图案信息；以及

掩膜图案产生设备，配置为基于所述掩膜图案信息，产生与所述掩膜图案信息对应的掩膜图案并显示；

其中，所述掩膜图案传送设备包括RFID控制器，配置为向所述掩膜图案产生设备发送所述RFID信号，以向所述掩膜图案产生设备供电并传送所述掩膜图案信息，

其中所述RFID信号包括所述掩膜图案信息和用于对所述掩膜图案产生设备供电的电能信号。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述掩膜图案提供设备是本地PC或移动设备。

3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述有线网络是互联网、局域网、广域网、电信网络中的至少一个。

4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述无线网络是3G网络、4G网络、LTE网络、WiFi网络、蓝牙网络和NFC网络中的至少一个。

5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述掩膜图案传送设备还包括：

云端和/或网关，配置为对所述掩膜图案提供设备提供的所述掩膜图案信号进行处理。

6.根据权利要求1所述的系统，其中，所述掩膜图案产生设备包括：

射频模块，配置为读取所述RFID控制器发送的所述RFID信号；

储能模块，配置为存储所述RFID信号中的电能信号；

信息处理模块，配置为将所述RFID信号中的所述掩膜图案信息解析成掩膜图案数据；

存储模块，配置为存储并更新为与所述掩膜图案数据相对应的掩膜图案；以及

显示模块，用于显示由所述存储模块更新后的掩膜图案。

7.根据权利要求6所述的系统，其中，所述掩膜图案数据是二进制数、八进制数或十六进制数。

8.根据权利要求6所述的系统，其中，所述储能模块存储能够更新所述显示模块显示的掩膜图案的电能。

9.根据权利要求6所述的系统，其中，所述储能模块还配置为利用所述电能信号，对所述信息处理模块、所述存储模块以及所述显示模块供电。

10.根据权利要求6所述的系统，其中，所述显示模块是电子墨水屏。

11.一种用于产生掩膜图案的方法，包括：

由掩膜图案提供设备，通过有线或无线网络提供掩膜图案信号；

由掩膜图案信息传送设备，对掩膜图案提供设备提供的掩膜图案信号进行处理，以产生掩膜图案信息，并且通过射频标识“RFID”信号传送掩膜图案信息；以及

由掩膜图案产生设备，基于来自掩膜图案信息传送设备的掩膜图案信息，产生与所述掩膜图案信息对应的掩膜图案并显示；

其中，所述“RFID”信号包括所述掩膜图案信息和用于对所述掩膜图案产生设备供电的电能信号。